[发明专利]一种液囊压力罐在审
申请号: | 201711144975.1 | 申请日: | 2017-11-17 |
公开(公告)号: | CN109795817A | 公开(公告)日: | 2019-05-24 |
发明(设计)人: | 王冬 | 申请(专利权)人: | 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 |
主分类号: | B65D90/48 | 分类号: | B65D90/48;B65D90/54;B65D90/08 |
代理公司: | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人: | 白振宇 |
地址: | 110168 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压力罐 液囊 出液口 进液口 连接盖 下端 进气口 吸管 高压气管 化学药液 体内 种液 半导体化学 称重传感器 大气相通 晶圆工艺 密封连接 相对独立 应用过程 析出 上密封 上端 变质 | ||
1.一种液囊压力罐,其特征在于:包括压力罐本体(1)、液囊组件(6)及称重传感器(8),其中液囊组件(6)容置于压力罐本体(1)内,包括液囊(11)、吸管(10)、液囊连接盖(12)、进液口(14)及出液口(15),该液囊(11)位于所述压力罐本体(1)内、与压力罐本体(1)相对独立,顶端通过所述液囊连接盖(12)与压力罐本体(1)连接,所述液囊连接盖(12)上分别密封连接有进液口(14)及出液口(15),该进液口(14)的下端连接有插入所述液囊(11)内的高压气管B(9),所述出液口(15)的下端连接有插入液囊(11)内的吸管(10);所述压力罐本体(1)上密封连接有进气口(4),该进气口(4)的上端与大气相通,下端连接有插入所述压力罐本体(1)内的高压气管A(2);化学药液通过所述进液口(14)注入液囊(11)中,该液囊(11)内的化学药液通过设置于所述压力罐本体(1)内底部的称重传感器(8)称重,所述液囊(11)内的化学药液受到由进气口(4)通入的气体压力而由所述出液口(15)压出。
2.根据权利要求1所述的液囊压力罐,其特征在于:所述吸管(10)的上端与出液口(15)相连,下端位于所述液囊(11)底部的上方。
3.根据权利要求1所述的液囊压力罐,其特征在于:所述高压气管B(9)的上端与进液口(14)相连,下端位于所述液囊(11)内的顶部。
4.根据权利要求1所述的液囊压力罐,其特征在于:所述高压气管A(2)的上端与进气口(4)相连,下端位于所述压力罐本体(1)内的顶部。
5.根据权利要求1所述的液囊压力罐,其特征在于:所述液囊(11)的顶部通过压板(13)与液囊连接盖(12)的下表面连接,该液囊(11)位于所述称重传感器(8)的正上方。
6.根据权利要求1所述的液囊压力罐,其特征在于:所述压力罐本体(1)上设有泄压阀(7)。
7.根据权利要求1所述的液囊压力罐,其特征在于:所述压力罐本体(1)上安装有便于拿放的提手(16)。
8.根据权利要求1所述的液囊压力罐,其特征在于:所述进气口(4)的气体压力大于出液口(15)处的压力。
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