[发明专利]霍尔元件以及霍尔元件的制造方法

说明书

本发明提供具有接触部的霍尔元件。本发明提供一种霍尔元件，其中，该霍尔元件包括：基板；磁感应部，其形成于基板上；绝缘膜，其形成于磁感应部上；以及导电部，其形成于绝缘膜上，该导电部自磁感应部的周边区域向磁感应部的中央区域侧延伸，且贯穿绝缘膜，并与磁感应部电连接，在以经过俯视时的磁感应部的中心和导电部与磁感应部接触的部分的剖面进行观察时，导电部的至少一部分延伸到剖面中的绝缘膜的下部。

技术领域

本发明涉及霍尔元件以及霍尔元件的制造方法。

背景技术

以往，公知有一种霍尔元件，其具有用于连接磁感应部和电极焊盘的接触部(例如，参照专利文献1和2)。

专利文献1：日本特开昭60-175471号公报

专利文献2：日本特开昭62-12974号公报

发明内容

发明要解决的问题

但是，在以往的霍尔元件中，存在电流在接触部的下端集中，导致霍尔输出电压产生变动的情况。

用于解决问题的方案

在本发明的第一技术方案中，提供一种霍尔元件，其中，该霍尔元件包括：基板；磁感应部，其形成于基板上；绝缘膜，其形成于磁感应部上；以及导电部，其形成于绝缘膜上，该导电部自磁感应部的周边区域向磁感应部的中央区域侧延伸，且贯穿绝缘膜，并与磁感应部电连接，在以经过俯视时的磁感应部的中心和导电部与磁感应部接触的部分的剖面进行观察时，导电部的至少一部分延伸到剖面中的绝缘膜的下部。

在本发明的第二技术方案中，提供一种霍尔元件的制造方法，其中，该霍尔元件的制造方法包括：设置基板的阶段；在基板上形成磁感应部的阶段；在磁感应部上形成绝缘膜的阶段；以及在绝缘膜上形成导电部的阶段，该导电部自磁感应部的周边区域向磁感应部的中央区域一侧延伸，且贯穿绝缘膜，并与磁感应部电连接，在以经过俯视时的磁感应部的中心和导电部与磁感应部接触的部分的剖面进行观察时，导电部的至少一部分延伸到剖面中的绝缘膜的下部。

另外，上述的发明内容并没有列举本发明的全部特征。另外，这些特征组的子组合也能够成为发明的技术方案。

附图说明

图1A表示实施例1的霍尔元件100的俯视图的一例子。

图1B表示霍尔元件100的A-A'剖面的一例子。

图1C表示霍尔元件100的B-B'剖面的一例子。

图1D是实施例1的霍尔元件100的中央区域23的一例子。

图1E是表示电极部31～电极部34的结构的一例子的俯视图。

图2A表示霍尔传感器200的俯视图的一例子。

图2B是霍尔传感器200的剖视图的一例子。

图3表示比较例1的霍尔元件500的结构。

图4表示实施例2的霍尔元件100的结构的一例子。

图5表示实施例3的霍尔元件100的结构的一例子。

图6A是用于说明比较例2的磁感应部520的平面形状的示意图。

图6B是用于说明比较例2的磁感应部520的平面形状的示意图。

图7A表示磁感应部20和接触部50的放大图的一例子。

图7B表示磁感应部20和接触部50的放大图的一例子。

图8A表示接触部50的平面形状的一例子。