[发明专利]样品溶胶方法、用于样品溶胶方法的治具和设备在审

专利信息
申请号: 201711147853.8 申请日: 2017-11-17
公开(公告)号: CN107978534A 公开(公告)日: 2018-05-01
发明(设计)人: 杨金平 申请(专利权)人: 威创集团股份有限公司
主分类号: H01L21/56 分类号: H01L21/56;H01L21/67;H01L33/52
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 代理人: 余永文
地址: 510670 广东省广州*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 样品 溶胶 方法 用于 设备
【权利要求书】:

1.一种样品溶胶方法,其特征在于,包括以下步骤:

将固定有待溶胶样品的治具置于溶解器中,往所述溶解器中加入溶解剂并加热;

夹取所述治具上未覆盖有所述待溶胶样品的区域,从所述溶解剂中取出所述治具,观察所述样品的封装胶体是否完全溶解;

若所述封装胶体未完全溶解,则将所述治具置于所述溶解剂中,反复观察,直至所述样品的封装胶体完全溶解。

2.根据权利要求1所述的样品溶胶方法,其特征在于,所述将固定有待溶胶样品的治具置于溶解器中的步骤包括:

将待溶胶样品固定于治具的固定盘上;

将固定有所述待溶胶样品的治具置于溶解器中。

3.根据权利要求2所述的样品溶胶方法,其特征在于,所述待溶胶样品的数量为多个。

4.根据权利要求1所述的样品溶胶方法,其特征在于,还包括:

在所述样品的封装胶体完全溶解之后,将所述治具放入无水乙醇中进行清洗。

5.根据权利要求1所述的样品溶胶方法,其特征在于,还包括:

在所述样品的封装胶体完全溶解之后,将所述固定有待溶胶样品的治具倾斜固定于载具上。

6.根据权利要求1至5任意一项所述的样品溶胶方法,其特征在于,所述样品溶胶方法在通风处进行。

7.根据权利要求1至5任意一项所述的样品溶胶方法,其特征在于,所述溶解剂包括硫酸和蓝药水中的任意一种。

8.一种用于所述权利要求1至7任意一项所述的样品溶胶方法的治具,其特征在于,所述治具上设置有用于固定待溶胶样品的固定盘。

9.一种用于样品溶胶方法的设备,其特征在于,包括权利要求8所述的用于样品溶胶方法的治具。

10.根据权利要求9所述的设备,其特征在于,还包括:溶解器、夹具、载具和固定剂;

所述溶解器是用于进行样品溶胶的容器,所述夹具用于夹取固定有待溶胶样品的治具;所述载具用于承载固定有待测溶胶样品的治具;所述固定剂用于将固定有待溶胶样品的治具固定于所述载具上。

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