[发明专利]可调光滤波器及其制造方法以及可调光滤波器组件

说明书

公开了一种可调光滤波器及其制造方法以及可调光滤波器组件。该方法可以包括将硅晶片减薄到特定厚度。特定厚度可以基于可调光滤波器的通带频谱。该方法还可以包括使用光学涂层来覆盖硅晶片的表面。光学涂层可以对光信号进行滤波并且可以基于通带频谱。该方法可以另外包括在涂覆的硅晶片上沉积多个热调谐部件。多个热调谐部件可以通过调节涂覆的硅晶片的温度来调节可调光滤波器的通带频率范围。通带频率范围可以在通带频谱内。该方法可以包括将涂覆的硅晶片分成多个硅晶片管芯。每个硅晶片管芯可以包括多个热调谐部件并且可以是可调光滤波器。

技术领域

本文中讨论的实施方式涉及可调光滤波器及其制造方法以及可调光滤波器组件。

背景技术

可调光滤波器可以允许在光通信系统内使用不同频率的光信号。可以通过修改可调光滤波器中的硅晶片管芯的温度来调节由可调光滤波器滤波的光的频谱。另外，可调光滤波器可以耦接到组件中的基板，以将可调光滤波器热隔离。

本文所要求保护的主题不限于解决任何缺点的实施方式或仅在诸如上面所述的环境中操作的实施方式。确切的说，该背景技术仅被提供用来说明可以实践本文所描述的一些实施方式的一种示例技术。

发明内容

在一种实施方式中，一种制造可调光滤波器的方法可以包括将硅晶片减薄至特定厚度。特定厚度可以基于可调光滤波器的通带频谱。该方法还可以包括使用光学涂层来覆盖硅晶片的表面。光学涂层可以对光信号进行滤波并且可以基于通带频谱。该方法可以另外包括在涂覆的硅晶片上沉积热调谐部件。热调谐部件可以通过调节涂覆的硅晶片的温度来调节可调光滤波器的通带频率范围。通带频率范围可以在通带频谱内。该方法可以包括将涂覆的硅晶片分成多个硅晶片管芯。每个硅晶片管芯可以包括多个热调谐部件并且可以是可调光滤波器。

在一种实施方式中，一种系统可以包括可调光滤波器。可调光滤波器可以包括硅晶片管芯，该硅晶片管芯的厚度基于可调光滤波器的通带频谱。可调光滤波器还可以包括光学涂层，该光学涂层被设置在硅晶片管芯的第一表面上。光学涂层可以对光信号进行滤波并且可以基于通带频谱。可调光滤波器可以另外包括与硅晶片管芯集成的环加热器。环加热器可以基于电信号来调节硅晶片管芯的温度，以调节可调光滤波器的通带频率范围。通带频率范围可以在通带频谱内。可调光滤波器可以包括热接触垫，该热接触垫与硅晶片管芯集成并且耦接至环加热器。热接触垫可以接收电信号并且将电信号传递至环加热器。可调光滤波器还可以包括与硅晶片管芯集成的热敏电阻器。热敏电阻器可以监测硅晶片管芯的温度。可以基于监测的温度来修改电信号。系统还可以包括基板，该基板与硅晶片管芯热隔离。基板可以包括信号迹线，该信号迹线电耦接至热接触垫。信号迹线可以承载电信号。

在一种实施方式中，一种可调光滤波器可以包括光滤波器管芯，该光滤波器管芯包括抛光的第一表面和与抛光的第一表面相对的抛光的第二表面。光滤波器管芯的厚度可以基于可调光滤波器的通带频谱。可调光滤波器还可以包括光学涂层，该光学涂层被设置在光滤波器管芯的抛光的第一表面上。光学涂层可以对光信号进行滤波并且可以基于通带频谱。可调光滤波器可以另外包括与光滤波器管芯集成的环加热器。环加热器可以基于电信号来调节光滤波器管芯的温度，以调节可调光滤波器的通带频率范围。通带频率范围可以在通带频谱内。可调光滤波器可以包括热接触垫，该热接触垫与光滤波器管芯集成并且耦接至环加热器。热接触垫可以接收电信号并且将电信号传递至环加热器。可调光滤波器还可以包括与光滤波器管芯集成的热敏电阻器。热敏电阻器可以监测光滤波器管芯的温度。可以基于监测的温度来修改电信号。

本发明的另外的特征和优点将在下面的描述中阐述，并且部分特征和优点根据该描述将会是明显的或者可以通过实践本发明来获知。本发明的特征和优点可以借助于在所附权利要求书中特别指出的手段和组合来实现和获得。本发明的这些和其他特征根据下面的描述和所附权利要求书将变得更加充分明了，或者可以通过如下文阐述的对本发明的实践来获知。

附图说明