[发明专利]硅片打磨用喷砂机

权利要求书

1.一种硅片打磨用喷砂机，包括喷砂箱和分别与喷砂箱连通的压力罐（1）和收尘箱，其特征在于，还包括分别位于喷砂箱下部、上部和后部的进砂机构、喷砂机构和收尘机构；

所述喷砂箱包括喷砂箱箱体（2），所述喷砂箱箱体（2）从上往下依次分为管道层（201）、工作层（202）和收集层（203），所述管道层（201）内部和顶部分别设有喷砂机构和顶板（3），所述工作层（202）一侧设有铰接的门板（4），工作层（202）前端上部和下部分别设有透视窗（5）和操作手套（6），工作层（202）后端设有开口，工作层（202）后部设有收尘机构，所述收集层（203）呈倒置的金字塔形，所述金字塔形下部连接有进砂机构，管道层（201）和工作层（202）之间设有隔板（7），所述隔板（7）下表面设有照明灯（8），工作层（202）和收集层（203）之间设有滤板（9），喷砂箱箱体（2）下部设有立柱（10）；

所述收尘箱包括收尘箱箱体（11），所述收尘箱箱体（11）分为上下两层，所述上层和下层内分别设有收纳盒（12）和涡流风机（13），上层后部与收尘机构连通；

所述进砂机构包括储砂罐（14），所述储砂罐（14）中部呈圆柱形、上下两端呈锥形，储砂罐（14）与所述压力罐（1）连通，储砂罐（14）上端和下端分别与收集层（203）下端和进砂机构连通，储砂罐（14）上端与收集层（203）下端之间设有电磁阀（15）；

所述喷砂机构包括三通接头（16）和分别位于三通接头（16）出口两端的喷砂头（17）和喷气头（18），所述三通接头（16）进口端与储砂罐（14）连通，所述喷砂头（17）和喷气头（18）均穿过隔板（7）且端头朝下，所述喷气头（18）与三通接头（16）之间设有滤网（19）；

所述收尘机构包括喷砂箱箱体（2）工作层（202）后部的收尘仓（20）、工作层（202）内部后端两侧的导轨组、工作层（202）内部后端一侧的丝杆（21）、导轨组内的挡板（22）和工作层（202）后端底部的调节机构，所述收尘仓（20）前端与喷砂箱箱体（2）工作层（202）后表面固定连接、后端与收尘箱箱体（11）上层后部连通，所述挡板（22）呈矩形，挡板（22）中部设有开槽，挡板（22）底部一侧设有滑块（23），所述丝杆（21）两端分别与隔板（7）和滤板（9）转动连接，所述滑块（23）套合在丝杆（21）上，所述调节机构穿过喷砂箱箱体（2）工作层（202）后部和导轨组与丝杆（21）传动连接。

2.根据权利要求1所述的硅片打磨用喷砂机，其特征在于，所述滤板（9）上均布有若干过滤孔。

3.根据权利要求1所述的硅片打磨用喷砂机，其特征在于，所述喷气头（18）位于透视窗（5）与喷砂头（17）之间。

4.根据权利要求1所述的硅片打磨用喷砂机，其特征在于，所述导轨组包括L形导轨（24）和T形导轨（25）。

5.根据权利要求4所述的硅片打磨用喷砂机，其特征在于，所述丝杆（21）底部固定有蜗轮（26）。

6.根据权利要求5所述的硅片打磨用喷砂机，其特征在于，所述调节机构包括调节杆（27），所述调节杆（27）与喷砂箱箱体（2）工作层（202）后部和T形导轨（25）转动连接，调节杆（27）一端设有调节手柄（28）、另一端设有蜗杆（29），所述蜗杆（29）与蜗轮（26）啮合。

7.根据权利要求1所述的硅片打磨用喷砂机，其特征在于，所述三通接头（16）的两个出口竖直放置，上部出口和下部出口分别连通至喷气头（18）和喷砂头（17）。