[发明专利]硅片打磨用喷砂机

说明书

本发明一种硅片打磨用喷砂机，包括喷砂箱和分别与喷砂箱连通的压力罐和收尘箱，还包括分别位于喷砂箱下部、上部和后部的进砂机构、喷砂机构和收尘机构，喷砂箱包括喷砂箱箱体，喷砂箱箱体从上往下依次分为管道层、工作层和收集层，进砂机构包括储砂罐，储砂罐上端与收集层下端之间设有电磁阀，喷砂机构包括三通接头和分别位于三通接头出口两端的喷砂头和喷气头，喷气头与三通接头之间设有滤网，收尘机构包括喷砂箱箱体工作层后部的收尘仓、工作层内部后端两侧的导轨组、工作层内部后端一侧的丝杆、导轨组内的挡板和工作层后端底部的调节机构；本发明提供一种具有吹散灰尘的喷气头和可调节收尘机构的硅片打磨用喷砂机。

技术领域

本发明属于硅片生产设备技术领域，具体涉及一种硅片打磨用喷砂机。

背景技术

在硅片切割成型后，需要用磨料对硅片表面进行冲击和切削，把硅片表面的杂质、杂色清除掉，使硅片表面获得一定的清洁度和不同的粗糙度，这个过程通常通过喷砂机来进行。

现有的喷砂机一般是设有磨料循环系统，将磨料不断喷射到硅片表面，磨料在喷射过程中会破碎，减低打磨效果，有的喷砂机也设有收尘装置，但收尘口高度不可调，对于不同的磨料起不到应有的效果，会将没有破碎的磨料也收集走，降低了磨料的利用率，增加了生产成本，并且在打磨时会荡起大量灰尘，操作人员无法看清硅片的打磨情况，影响硅片的质量。

为此，我们提出一种硅片打磨用喷砂机。

发明内容

本发明的目的在于克服现有的不足，提供一种具有吹散灰尘的喷气头和可调节收尘机构的硅片打磨用喷砂机。

为实现上述目的，本发明所采用的技术方案是：

一种硅片打磨用喷砂机，包括喷砂箱和分别与喷砂箱连通的压力罐和收尘箱，还包括分别位于喷砂箱下部、上部和后部的进砂机构、喷砂机构和收尘机构；

所述喷砂箱包括喷砂箱箱体，所述喷砂箱箱体从上往下依次分为管道层、工作层和收集层，所述管道层内部和顶部分别设有喷砂机构和顶板，所述工作层一侧设有铰接的门板，工作层前端上部和下部分别设有透视窗和操作手套，工作层后端设有开口，工作层后部设有收尘机构，所述收集层呈倒置的金字塔形，所述金字塔形下部连接有进砂机构，管道层和工作层之间设有隔板，所述隔板下表面设有照明灯，工作层和收集层之间设有滤板，喷砂箱箱体下部设有立柱；

所述收尘箱包括收尘箱箱体，所述收尘箱箱体分为上下两层，所述上层和下层内分别设有收纳盒和涡流风机，上层后部与收尘机构连通；

所述进砂机构包括储砂罐，所述储砂罐中部呈圆柱形、上下两端呈锥形，储砂罐与所述压力罐连通，储砂罐上端和下端分别与收集层下端和进砂机构连通，储砂罐上端与收集层下端之间设有电磁阀；

所述喷砂机构包括三通接头和分别位于三通接头出口两端的喷砂头和喷气头，所述三通接头进口端与储砂罐连通，所述喷砂头和喷气头均穿过隔板且端头朝下，所述喷气头与三通接头之间设有滤网；

所述收尘机构包括喷砂箱箱体工作层后部的收尘仓、工作层内部后端两侧的导轨组、工作层内部后端一侧的丝杆、导轨组内的挡板和工作层后端底部的调节机构，所述收尘仓前端与喷砂箱箱体工作层后表面固定连接、后端与收尘箱箱体上层后部连通，所述挡板呈矩形，挡板中部设有开槽，挡板底部一侧设有滑块，所述丝杆两端分别与隔板和滤板转动连接，所述滑块套合在丝杆上，所述调节机构穿过喷砂箱箱体工作层后部和导轨组与丝杆传动连接。

进一步地，所述滤板上均布有若干过滤孔。

进一步地，所述喷气头位于透视窗与喷砂头之间。

进一步地，所述导轨组包括L形导轨和T形导轨。

进一步地，所述丝杆底部固定有蜗轮。