[发明专利]一种电子回旋共振加热系统滑动抽气波导

权利要求书

1.一种电子回旋共振加热系统滑动抽气波导，其特征在于：包括两段相对安装的波纹主波导(1)、两段波纹主波导(1)相对的内侧一段套装在波导连接段(4)内，相对的内侧面保留一定调节间隙(8)，还包括设于波导连接段(4)外部的真空波纹管(2)和分别设于真空波纹管(2)两侧的两个波纹管连接段(3)；所述的真空波纹管(2)和两侧的波纹管连接段(3)固定连接组成真空波纹管组件；所述的波纹主波导(1)上加工有波导连接法兰(11)，波纹管连接段(3)的端部与波导连接法兰(11)密封连接；所述的两个波纹管连接段(3)的下端分别加工真空抽气端口(5)和真空监测端口(6)；所述的波纹主波导(1)的中段部分沿轴向方向加工真空抽气条孔(7)。

2.如权利要求1所述的一种电子回旋共振加热系统滑动抽气波导，其特征在于：所述的波纹主波导(1)为一体加工的波导管结构，靠近相对的内侧的一段外径较小，这一段设于所述的波导连接段(4)内部，波纹主波导(1)中段位于波纹管连接段(3)内部，中段加工有沿轴向的真空抽气条孔(7)，同时中段上加工有波导连接法兰(11)，波导连接法兰(11)内侧表面加工有圆形环槽，槽内放置密封圈，使得波导连接法兰(11)和波纹管连接段(3)的端部密封连接。

3.如权利要求1所述的一种电子回旋共振加热系统滑动抽气波导，其特征在于：所述的波纹管连接段(3)端部设有波纹管连接法兰(12)，波纹管连接法兰(12)与所述的波导连接法兰(11)通过密封圈密封连接。

4.如权利要求2或3所述的一种电子回旋共振加热系统滑动抽气波导，其特征在于：所述的密封圈为氟橡胶密封圈(9)。

5.如权利要求1所述的一种电子回旋共振加热系统滑动抽气波导，其特征在于：所述的真空抽气条孔(7)沿波纹主波导(1)轴向均匀分布，数量为15～22。

6.如权利要求1所述的一种电子回旋共振加热系统滑动抽气波导，其特征在于：所述的波导连接段(4)内壁为与波纹主波导(1)波纹参数相同的槽纹结构。

7.如权利要求1所述的一种电子回旋共振加热系统滑动抽气波导，其特征在于：所述的波纹主波导(1)通径内壁为光滑曲面，齿形结构为连续正弦波纹。

8.如权利要求1所述的一种电子回旋共振加热系统滑动抽气波导，其特征在于：所述的波纹主波导(1)与传输系统导波部件的导波通径及槽纹结构一致。

9.如权利要求1所述的一种电子回旋共振加热系统滑动抽气波导，其特征在于：所述的波纹主波导(1)和波导连接段(4)均采用硬铝材料制成。

10.如权利要求1所述的一种电子回旋共振加热系统滑动抽气波导，其特征在于：所述的调节间隙(7)范围为0-10mm。