[发明专利]一种电子回旋共振加热系统滑动抽气波导

说明书

本发明属于微波技术，具体为一种电子回旋共振加热系统滑动抽气波导，包括两段相对安装的波纹主波导、波导连接段、真空波纹管和波纹管连接段，两个波纹主波导相对的内侧面保留一定调节间隙，波纹主波导上的波导连接法兰与波纹管连接段的端部密封连接；波纹管连接段的下端为真空抽气端口和真空监测端口；波纹主波导的中段部分沿轴向方向加工真空抽气条孔。抽气条孔与原有间隔缝隙这样的抽气结构相比，微波损耗小，有效的抽气截面面积大，抽气效率高，有效抽速大，因此适用于真空传输系统中，两个波导通过连接波导连成整体，相当于将原有抽气波导和弹性波导合二为一，简化了微波传输结构减少了微波传输过程中的损耗，传输效率高。

技术领域

本发明属于微波技术领域，具体涉及一种新型大功率电子回旋共振加热系统滑动抽气波导。

背景技术

对于电子回旋共振加热系统传输线而言，当传输的微波功率达到兆瓦量级时，为了有效的避免传输线因气体击穿而引起打火，通常需要使用真空传输线，使传输线的真空优于10^-2Pa。真空传输线除各部件法兰接口需要采用真空密封外，还需要采用抽气波导用于排除传输线内的气体，使传输线真空度达到所需要求。此外，在电子回旋传输线的安装过程中，会存在一定的安装误差；且随着环境温度的变化，传输系统各部件的尺寸会发生变化。为消除安装过程中的机械应力以及热效应等，便于传输线的安装，需要采用一种可以消除该种安装间隙误差的传输部件——滑动波导。

对于长距离的电子回旋传输系统过来说，现有技术中一般在传输线起始端与末端均配备一个抽气波导及一个滑动波导。对于传输系统传输效率来说，这种非标传输部件的数量越多，所产生的安装误差及微波传输损耗就越大，传输效率越低，因此需要尽量减少非标传输部件的使用。此外，现有技术中，滑动波导仅可用于非真空环境中，结构上存在真空“死空间”且间隙损耗大，无法使用于兆瓦量级传输系统中；现有技术中，抽气波导只依靠波纹主波导间间隙给传输系统抽气，间隙受损耗小的需求的影响不能过大，从而导致流导不够而难以兼顾有效抽速大且微波功率损耗小的技术要求，此外原有抽气波导只具备抽气口而无法监控传输线真实真空状况。

发明内容

本发明的目的是提供一种电子回旋共振加热系统滑动抽气波导，能够解决滑动波导无法使用在电子回旋真空传输系统中，且微波损耗较大的技术问题。

本发明的技术方案如下：

一种电子回旋共振加热系统滑动抽气波导，包括两段相对安装的波纹主波导、两段波纹主波导相对的内侧一段套装在波导连接段内，相对的内侧面保留一定调节间隙，还包括设于波导连接段外部的真空波纹管和分别设于真空波纹管两侧的两个波纹管连接段；所述的真空波纹管和两侧的波纹管连接段固定连接组成真空波纹管组件；所述的波纹主波导上加工有波导连接法兰，波纹管连接段的端部与波导连接法兰密封连接；所述的两个波纹管连接段的下端分别加工真空抽气端口和真空监测端口；所述的波纹主波导的中段部分沿轴向方向加工真空抽气条孔。

所述的波纹主波导为一体加工的波导管结构，靠近相对的内侧的一段外径较小，这一段设于所述的波导连接段内部，波纹主波导中段位于波纹管连接段内部，中段加工有沿轴向的真空抽气条孔，同时中段上加工有波导连接法兰，波导连接法兰内侧表面加工有圆形环槽，槽内放置密封圈，使得波导连接法兰和波纹管连接段的端部密封连接。

所述的波纹管连接段端部设有波纹管连接法兰，波纹管连接法兰与所述的波导连接法兰通过密封圈密封连接。

所述的密封圈为氟橡胶密封圈。

所述的真空抽气条孔沿波纹主波导轴向均匀分布，数量为15～22。

所述的波导连接段内壁为与波纹主波导波纹参数相同的槽纹结构。

所述的波纹主波导通径内壁为光滑曲面，齿形结构为连续正弦波纹。

所述的波纹主波导与传输系统导波部件的导波通径及槽纹结构一致。