[发明专利]用于晶圆清洗的化学液喷淋管及清洗装置

权利要求书

1.一种用于晶圆清洗的化学液喷淋管，其特征在于，包括管体和多个喷嘴，所述管体内部设有用于化学液流动的通道，多个所述喷嘴共同连通于所述管体的内部通道，且多个所述喷嘴沿所述管体的中轴线方向依次设置在所述管体的外周面上，当待清洗的晶圆绕自身中轴线进行转动时，所述管体内部的化学液能够从多个所述喷嘴喷出并在所述晶圆的表面形成环形区域。

2.根据权利要求1所述的用于晶圆清洗的化学液喷淋管，其特征在于，多个所述喷嘴沿同一条平行于所述管体的中轴线的直线间隔设置在所述管体的外周面上。

3.根据权利要求2所述的用于晶圆清洗的化学液喷淋管，其特征在于，所述管体内还设有线加热器和温度调节单元，所述线加热器用于调节所述管体内的化学液，所述线加热器的外表面上设有防化学液腐蚀的涂层，所述温度调节单元用于调节所述线加热器的温度。

4.一种清洗装置，其特征在于，包括上述权利要求1-3中任一项所述的用于晶圆清洗的化学液喷淋管。

5.根据权利要求4所述的清洗装置，其特征在于，所述化学液喷淋管设于待清洗晶圆的上方，且所述管体的中轴线平行与所述晶圆的上表面，多个所述喷嘴设于所述管体的底部且垂直于所述晶圆的上表面。

6.根据权利要求5所述的清洗装置，其特征在于，所述喷嘴距所述晶圆的上表面的距离设定为使得从相邻两个所述喷嘴喷出的化学液能够在所述晶圆的上表面交汇。

7.根据权利要求6所述的清洗装置，其特征在于，所述喷嘴的数量设定为使得当所述晶圆绕自身中轴线转动时从多个所述喷嘴喷出的化学液能够覆盖所述晶圆的上表面从圆心位置至晶圆边缘的圆形区域。

8.根据权利要求7所述的清洗装置，其特征在于，所述圆形区域的半径为150mm。

9.根据权利要求5-8中任一项所述的清洗装置，其特征在于，还包括离子发生器和导电装置，所述离子发生器和所述导电装置用于去除刻蚀过程中产生的静电。