[发明专利]LED显示器制备方法及LED显示器有效
申请号: | 201711167546.6 | 申请日: | 2017-11-21 |
公开(公告)号: | CN107910414B | 公开(公告)日: | 2020-02-14 |
发明(设计)人: | 翁守正;牛小龙 | 申请(专利权)人: | 歌尔股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L21/683;H01L27/15 |
代理公司: | 11610 北京太合九思知识产权代理有限公司 | 代理人: | 刘戈 |
地址: | 261031 山东省潍坊*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | led 显示器 制备 方法 | ||
1.一种LED显示器制备方法,其特征在于,包括:
在衬底上生长LED单晶层,并在显示背板上形成金属层;
将所述衬底上的LED单晶层与所述显示背板上的金属层进行键合;
在键合后,将所述衬底从所述LED单晶层上剥离掉;
按照所述LED显示器的LED阵列结构,对所述LED单晶层和所述金属层进行刻蚀,以在所述显示背板上形成LED阵列;
在所述LED阵列上方覆盖透明或半透明电极层,以形成所述LED显示器。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述在衬底上生长LED单晶层,并在显示背板上形成金属层,包括:
在所述衬底上生长所述LED单晶层,并利用所述LED阵列结构对应的版图在所述LED单晶层上标记出LED阵列中各LED颗粒的边界;
在所述显示背板上形成所述金属层,并利用所述版图在所述金属层上标记出与所述各LED颗粒对应的凸点的边界。
3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述将所述衬底上的LED单晶层与所述显示背板上的金属层进行键合,包括:
按照所述LED单晶层上各LED颗粒的边界与所述金属层上各凸点的边界,将所述LED单晶层与所述金属层对齐;
将对齐后的所述LED单晶层与所述金属层进行键合。
4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,所述按照所述LED显示器的LED阵列结构,对所述LED单晶层和所述金属层进行刻蚀,以在所述显示背板上形成LED阵列,包括:
根据所述LED单晶层上各LED颗粒的边界,在所述LED颗粒上方涂覆光刻胶;
对所述光刻胶进行曝光显影,以在所述显示背板上形成所述LED阵列;
去除所述LED颗粒上方的所述光刻胶。
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述按照所述LED显示器的LED阵列结构,对所述LED单晶层和所述金属层进行刻蚀,以在所述显示背板上形成LED阵列,包括:
利用所述LED阵列结构对应的版图,在所述LED单晶层上标记出LED阵列中各LED颗粒的边界;
根据所述LED单晶层上各LED颗粒的边界,在所述LED颗粒上方涂覆光刻胶;
对所述光刻胶进行曝光显影,以在所述显示背板上形成所述LED阵列;
去除所述LED颗粒上方的所述光刻胶。
6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述LED阵列上方覆盖透明或半透明电极层之前,所述方法还包括:
在所述LED阵列中每个LED颗粒周围涂覆反射层,并在相邻LED颗粒之间填充绝缘材料。
7.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,所述在所述LED阵列中每个LED颗粒周围涂覆反射层,包括:
使用PECVD或溅射工艺对每个LED颗粒周围涂覆反射层。
8.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,所述在相邻LED颗粒之间填充绝缘材料之后,所述方法还包括:
对所述LED阵列表面进行平坦化处理。
9.根据权利要求1-8任一项所述的方法,其特征在于,
所述金属层的面积大于或等于所述LED单晶层的面积。
10.一种使用权利要求1-9任一项所述方法制备的LED显示器,其特征在于,所述LED显示器包括:显示背板、形成于所述显示背板上的LED阵列以及覆盖于所述LED阵列上方的透明或半透明电极层。
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