[发明专利]LED显示器制备方法及LED显示器有效

专利信息
申请号: 201711167546.6 申请日: 2017-11-21
公开(公告)号: CN107910414B 公开(公告)日: 2020-02-14
发明(设计)人: 翁守正;牛小龙 申请(专利权)人: 歌尔股份有限公司
主分类号: H01L33/00 分类号: H01L33/00;H01L21/683;H01L27/15
代理公司: 11610 北京太合九思知识产权代理有限公司 代理人: 刘戈
地址: 261031 山东省潍坊*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: led 显示器 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种LED显示器制备方法,其特征在于,包括:

在衬底上生长LED单晶层,并在显示背板上形成金属层;

将所述衬底上的LED单晶层与所述显示背板上的金属层进行键合;

在键合后,将所述衬底从所述LED单晶层上剥离掉;

按照所述LED显示器的LED阵列结构,对所述LED单晶层和所述金属层进行刻蚀,以在所述显示背板上形成LED阵列;

在所述LED阵列上方覆盖透明或半透明电极层,以形成所述LED显示器。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述在衬底上生长LED单晶层,并在显示背板上形成金属层,包括:

在所述衬底上生长所述LED单晶层,并利用所述LED阵列结构对应的版图在所述LED单晶层上标记出LED阵列中各LED颗粒的边界;

在所述显示背板上形成所述金属层,并利用所述版图在所述金属层上标记出与所述各LED颗粒对应的凸点的边界。

3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述将所述衬底上的LED单晶层与所述显示背板上的金属层进行键合,包括:

按照所述LED单晶层上各LED颗粒的边界与所述金属层上各凸点的边界,将所述LED单晶层与所述金属层对齐;

将对齐后的所述LED单晶层与所述金属层进行键合。

4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,所述按照所述LED显示器的LED阵列结构,对所述LED单晶层和所述金属层进行刻蚀,以在所述显示背板上形成LED阵列,包括:

根据所述LED单晶层上各LED颗粒的边界,在所述LED颗粒上方涂覆光刻胶;

对所述光刻胶进行曝光显影,以在所述显示背板上形成所述LED阵列;

去除所述LED颗粒上方的所述光刻胶。

5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述按照所述LED显示器的LED阵列结构,对所述LED单晶层和所述金属层进行刻蚀,以在所述显示背板上形成LED阵列,包括:

利用所述LED阵列结构对应的版图,在所述LED单晶层上标记出LED阵列中各LED颗粒的边界;

根据所述LED单晶层上各LED颗粒的边界,在所述LED颗粒上方涂覆光刻胶;

对所述光刻胶进行曝光显影,以在所述显示背板上形成所述LED阵列;

去除所述LED颗粒上方的所述光刻胶。

6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述LED阵列上方覆盖透明或半透明电极层之前,所述方法还包括:

在所述LED阵列中每个LED颗粒周围涂覆反射层,并在相邻LED颗粒之间填充绝缘材料。

7.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,所述在所述LED阵列中每个LED颗粒周围涂覆反射层,包括:

使用PECVD或溅射工艺对每个LED颗粒周围涂覆反射层。

8.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,所述在相邻LED颗粒之间填充绝缘材料之后,所述方法还包括:

对所述LED阵列表面进行平坦化处理。

9.根据权利要求1-8任一项所述的方法,其特征在于,

所述金属层的面积大于或等于所述LED单晶层的面积。

10.一种使用权利要求1-9任一项所述方法制备的LED显示器,其特征在于,所述LED显示器包括:显示背板、形成于所述显示背板上的LED阵列以及覆盖于所述LED阵列上方的透明或半透明电极层。

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