[发明专利]LED显示器制备方法及LED显示器有效

专利信息
申请号: 201711167546.6 申请日: 2017-11-21
公开(公告)号: CN107910414B 公开(公告)日: 2020-02-14
发明(设计)人: 翁守正;牛小龙 申请(专利权)人: 歌尔股份有限公司
主分类号: H01L33/00 分类号: H01L33/00;H01L21/683;H01L27/15
代理公司: 11610 北京太合九思知识产权代理有限公司 代理人: 刘戈
地址: 261031 山东省潍坊*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: led 显示器 制备 方法
【说明书】:

本申请提供一种LED显示器制备方法及LED显示器。其中,先将衬底上的LED单晶层与显示背板上的金属层直接进行键合后,再对LED单晶层上的衬底进行剥离,之后在显示背板上对LED单晶层和金属层进行刻蚀而形成LED阵列。这样,无需经过热辅助技术对衬底上的LED颗粒进行高难度的巨量矩阵转移,便可将LED颗粒全部转移至显示背板,提高转移成功率,降低转移成本,本申请可提高LED的发光效率和使用寿命。

技术领域

本申请涉及液晶显示技术领域,尤其涉及一种LED显示器制备方法及LED显示器。

背景技术

微型发光二极管(Micro Light Emitting Diode,Micro-LED)不仅具有高效率、高亮度、高可靠度及反应快的特点,还具有结构简易、体积小、节能等优势,逐渐被应用于显示领域。

Micro-LED技术是一种将LED结构设计进行薄膜化、微小化与阵列化的技术。在现有的Micro-LED阵列制备工艺上,由于晶格匹配的原因,Micro-LED颗粒必须先在衬底上通过分子束外延生长出来,再由复杂的微机电系统(Micro Electro Mechanical System,MEMS)静电拾取器件将Micro-LED颗粒进行巨量矩阵转移至显示背板上。

在基于静电拾取器件的巨量矩阵转移过程中需要采用热辅助技术对Micro-LED颗粒进行加热,这会影响LED的发光效率和使用寿命。

发明内容

本申请的多个方面提供一种LED显示器制备方法及LED显示器,用以避免巨量矩阵转移,提高Micro-LED的发光效率。

本申请实施例提供一种LED显示器制备方法,包括:

在衬底上生长LED单晶层,并在显示背板上形成金属层;

将所述衬底上的LED单晶层与所述显示背板上的金属层进行键合;

在键合后,将所述衬底从所述LED单晶层上剥离掉;

按照所述LED显示器的LED阵列结构,对所述LED单晶层和所述金属层进行刻蚀,以在所述显示背板上形成LED阵列;

在所述LED阵列上方覆盖透明或半透明电极层,以形成所述LED显示器。

本申请实施例还提供一种LED显示器,包括:显示背板、形成于所述显示背板上的LED阵列以及覆盖于所述LED阵列上方的透明或半透明电极层。

在本申请实施例中,先将衬底上的LED单晶层与显示背板上的金属层直接进行键合后,再对LED单晶层上的衬底进行剥离,之后在显示背板上对LED单晶层和金属层进行刻蚀而形成LED阵列。这样,无需经过热辅助技术对衬底上的LED颗粒进行高难度的巨量矩阵转移,便可将LED颗粒全部转移至显示背板,可提高LED的发光效率和使用寿命。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解,构成本申请的一部分,本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请,并不构成对本申请的不当限定。在附图中:

图1为本申请一实施例提供的一种LED显示器制备方法的流程示意图;

图2a为本申请一实施例提供的另一种LED显示器制备方法的流程示意图;

图2b-图2h为本申请一实施例提供的LED显示器制备方法中各阶段对应的LED显示器的结构示意图;

图3a为本申请另一实施例提供的一种LED显示器制备方法的流程示意图;

图3b-图3h为本申请另一实施例提供的LED显示器制备方法中各阶段对应的LED显示器的结构示意图;

图4为本申请又一实施例提供的一种LED显示器的结构示意图。

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