[发明专利]一种抛光过程中抛光液大颗粒的实时在线监测方法

权利要求书

1.一种抛光过程中抛光液大颗粒的实时在线监测方法，其特征在于：实现所述抛光液大颗粒的实时在线监测方法的设备包括抛光液主管道、抛光液分流道阀门、稀释混合系统、气泡消除系统、样品池、激光片光源、散射光探测器和光衰减探测器，所述抛光液主管道通过抛光液分流道阀门与稀释混合系统连接，所述稀释混合系统与气泡消除系统连接，所述稀释混合系统的出口与样品池连接，所述样品池的一侧为激光片光源，所述样片池的另一侧为散射光探测器和光衰减探测器，所述检测方法包括如下步骤：

(1)抽样，通过抽样系统从抛光液供给主管道中提取检测样品，所述抽样系统是利用真空技术来实现；

(2)稀释，将一定量的去离子水加入所述检测样品中，充分稀释；

(3)消除气泡，通过抽真空的方式将所述检测样品中的气泡消除；

(4)检测，抛光液经过观察窗，启动大颗粒检测，所述检测方法利用激光散射与激光衰减原理相结合，大颗粒由衰减光探测器测量，小颗粒由散射光探测器测量，这些光信号转化为电流通过放大，产生电压，根据颗粒大小产生不同电压，最后得到一个颗粒大小统计图，实现对抛光液中颗粒高效率，高准确性，高精度的检测。

2.如权利要求1所述的一种抛光过程中抛光液大颗粒的实时在线监测方法，其特征在于：检测前，对激光衰减、激光散射电信号与标准颗粒已知尺寸之间关系进行标定，标定过程与上述检测步骤相同。

3.如权利要求1或2所述的一种抛光过程中抛光液大颗粒的实时在线监测方法，其特征在于：所述激光片光源的激光器功率5nw-1W，波长488nm-540nm，光斑直径0.5-5mm，并选择30-60度角作为散射角固定激光器。