[发明专利]一种镀镍用活化液、配置方法、应用、硅片活化方法及镀镍方法在审
申请号: | 201711190370.6 | 申请日: | 2017-11-24 |
公开(公告)号: | CN109837532A | 公开(公告)日: | 2019-06-04 |
发明(设计)人: | 王鹏;梁效峰;徐长坡;陈澄;杨玉聪;王晓捧 | 申请(专利权)人: | 天津环鑫科技发展有限公司 |
主分类号: | C23C18/18 | 分类号: | C23C18/18;C23C18/34 |
代理公司: | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 栾志超 |
地址: | 300380 天津市西青区*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅片 镀镍 活化液 活化 重量百分比 放入 盐酸 贵金属氯化物 草酸 活化液活化 镀镍产品 厚度均匀 同一容器 贵金属 镀镍层 镀镍液 氢氟酸 王水 硝酸 煮沸 挥发 发花 发亮 后向 加热 硫酸 配置 酸选 浸泡 应用 消耗 重复 | ||
1.一种镀镍用活化液,其特征在于:包括重量百分比0.00001-0.001%的贵金属氯化物,重量百分比均为0.1-0.8%的两种酸,两种酸选自盐酸、氢氟酸、硝酸、硫酸和草酸,其余为水。
2.根据权利要求1所述的镀镍用活化液,其特征在于:所述贵金属氯化物为氯化金、氯化钯和氯化铂中的一种或多种,优选的,所述贵金属氯化物为氯化金。
3.根据权利要求1或2所述的镀镍用活化液,其特征在于:所述两种酸为盐酸和氢氟酸,优选的,所述盐酸的重量百分比为0.1-0.5%,优选的,所述氢氟酸的重量百分比为0.3-0.8%。
4.一种配置如权利要求1-3任一所述的镀镍用活化液的方法,其特性在于:包括:
步骤一、将贵金属和王水放入同一容器中;
步骤二、将步骤一中所述容器中的物质加热煮沸,待溶液挥发消耗后向所述容器中添加盐酸;
步骤三、重复若干次所述步骤二;
步骤四、向步骤三得到的产物中加入所述两种酸和水。
5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于:步骤一中加入的贵金属为0.5-5g,王水为100-200ml。
6.根据权利要求4或5所述的方法,其特征在于:所述步骤二中将所述容器中的物质加热煮沸至溶液挥发剩30-100ml,然后向所述容器中添加50-200ml盐酸。
7.根据权利要求4-6任一所述的方法,其特征在于:所述步骤四中向步骤三得到的产物中加入各100-1000ml的所述两种酸和15-20L的水,并再加入体积为所得溶液8-15倍的水稀释所得溶液。
8.权利要求1-3任一所述的活化液在对硅片镀镍前的活化中的应用。
9.一种硅片镀镍前活化硅片的方法,其特征在于:包括将硅片放入如权利要求1-3任一所述的活化液中浸泡。
10.一种硅片镀镍的方法,其特征在于:包括在镀镍前使用如权利要求9所述的活化硅片的方法对硅片进行活化。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理