[发明专利]一种镀镍用活化液、配置方法、应用、硅片活化方法及镀镍方法在审

专利信息
申请号: 201711190370.6 申请日: 2017-11-24
公开(公告)号: CN109837532A 公开(公告)日: 2019-06-04
发明(设计)人: 王鹏;梁效峰;徐长坡;陈澄;杨玉聪;王晓捧 申请(专利权)人: 天津环鑫科技发展有限公司
主分类号: C23C18/18 分类号: C23C18/18;C23C18/34
代理公司: 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 代理人: 栾志超
地址: 300380 天津市西青区*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 硅片 镀镍 活化液 活化 重量百分比 放入 盐酸 贵金属氯化物 草酸 活化液活化 镀镍产品 厚度均匀 同一容器 贵金属 镀镍层 镀镍液 氢氟酸 王水 硝酸 煮沸 挥发 发花 发亮 后向 加热 硫酸 配置 酸选 浸泡 应用 消耗 重复
【权利要求书】:

1.一种镀镍用活化液,其特征在于:包括重量百分比0.00001-0.001%的贵金属氯化物,重量百分比均为0.1-0.8%的两种酸,两种酸选自盐酸、氢氟酸、硝酸、硫酸和草酸,其余为水。

2.根据权利要求1所述的镀镍用活化液,其特征在于:所述贵金属氯化物为氯化金、氯化钯和氯化铂中的一种或多种,优选的,所述贵金属氯化物为氯化金。

3.根据权利要求1或2所述的镀镍用活化液,其特征在于:所述两种酸为盐酸和氢氟酸,优选的,所述盐酸的重量百分比为0.1-0.5%,优选的,所述氢氟酸的重量百分比为0.3-0.8%。

4.一种配置如权利要求1-3任一所述的镀镍用活化液的方法,其特性在于:包括:

步骤一、将贵金属和王水放入同一容器中;

步骤二、将步骤一中所述容器中的物质加热煮沸,待溶液挥发消耗后向所述容器中添加盐酸;

步骤三、重复若干次所述步骤二;

步骤四、向步骤三得到的产物中加入所述两种酸和水。

5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于:步骤一中加入的贵金属为0.5-5g,王水为100-200ml。

6.根据权利要求4或5所述的方法,其特征在于:所述步骤二中将所述容器中的物质加热煮沸至溶液挥发剩30-100ml,然后向所述容器中添加50-200ml盐酸。

7.根据权利要求4-6任一所述的方法,其特征在于:所述步骤四中向步骤三得到的产物中加入各100-1000ml的所述两种酸和15-20L的水,并再加入体积为所得溶液8-15倍的水稀释所得溶液。

8.权利要求1-3任一所述的活化液在对硅片镀镍前的活化中的应用。

9.一种硅片镀镍前活化硅片的方法,其特征在于:包括将硅片放入如权利要求1-3任一所述的活化液中浸泡。

10.一种硅片镀镍的方法,其特征在于:包括在镀镍前使用如权利要求9所述的活化硅片的方法对硅片进行活化。

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