[发明专利]掩膜板的制作方法及掩膜板有效
申请号: | 201711190767.5 | 申请日: | 2017-11-24 |
公开(公告)号: | CN107740041B | 公开(公告)日: | 2019-08-02 |
发明(设计)人: | 肖灿俊;徐健;刘耀阳 | 申请(专利权)人: | 上海天马微电子有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;H01L51/56 |
代理公司: | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人: | 王刚;龚敏 |
地址: | 201201 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 掩膜 掩膜板 开孔 像素 第二区域 第一区域 矩形图案 显示面板 制作 褶皱 产品良率 显示区域 对位 封堵 混色 张网 缓解 申请 | ||
1.一种掩膜板的制作方法,所述掩膜板用于制作显示面板,其特征在于,所述制作方法包括:
获得具有多个像素开孔的掩膜,各所述像素开孔排列成至少一个矩形图案区域,所述矩形图案区域包括与所述显示面板的显示区域对应的第一区域及除所述第一区域之外的第二区域;
将所述掩膜与掩膜框架进行对位,并将所述掩膜固定在所述掩膜框架上;
封堵位于所述第二区域上的各所述像素开孔,以形成所述掩膜板;
在将所述掩膜固定在所述掩膜框架的过程中,保持所述矩形图案区域上至少两条相对设置的边与对所述掩膜的拉伸方向平行。
2.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述封堵位于所述第二区域上的各所述像素开孔,具体为:
通过打印工艺将位于所述第二区域上的各所述像素开孔进行封堵。
3.根据权利要求2所述的制作方法,其特征在于,所述通过打印工艺将位于所述第二区域上的各所述像素开孔进行封堵,具体包括:
将有机材料滴到位于所述第二区域上的各所述像素开孔中;
对所述有机材料进行固化,以使所述有机材料填充各所述像素开孔。
4.根据权利要求3所述的制作方法,其特征在于,
所述有机材料包括油墨。
5.根据权利要求4所述的制作方法,其特征在于,所述对所述有机材料进行固化,具体为:
通过UV固化工艺对所述有机材料进行固化。
6.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述获得具有多个像素开孔的掩膜,具体为:
通过蚀刻方式获得具有多个像素开孔的掩膜。
7.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述将所述掩膜与掩膜框架进行对位,具体为:
通过张网机抓取所述掩膜的相对两端,以使所述掩膜的相对两端与所述掩膜框架进行对位。
8.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述掩膜为金属掩膜,所述掩膜框架为金属框架,
所述将所述掩膜固定在所述掩膜框架上,具体为:
通过焊接工艺将所述掩膜固定在所述掩膜框架上。
9.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述第一区域为非矩形区域。
10.根据权利要求9所述的制作方法,其特征在于,所述第一区域为圆形区域。
11.一种掩膜板,其特征在于,采用权利要求1至10中任一项所述的掩膜板制作方法制成,所述掩膜板包括:
掩膜框架;
掩膜,所述掩膜的相对两端固定在所述掩膜框架上,且所述掩膜上具有多个像素开孔,各所述像素开孔排列呈至少一个矩形图案区域,所述矩形图案区域包括与所述显示面板的显示区域对应的第一区域及除所述第一区域之外的第二区域;所述第二区域上的各所述像素开孔内填充有填充物。
12.根据权利要求11所述的掩膜板,其特征在于,所述掩膜设置有多个,各所述掩膜间隔排布在所述掩膜框架上。
13.根据权利要求11所述的掩膜板,其特征在于,所述第一区域的至少一部分位于所述矩形图案区域的边界上。
14.根据权利要求13所述的掩膜板,其特征在于,所述第一区域为圆形区域,所述圆形区域与所述矩形图案区域的四条边界相切。
15.根据权利要求11所述的掩膜板,其特征在于,所述掩膜框架包括框架本体及支撑筋条,所述掩膜的相对两端固定在所述框架本体上,所述支撑筋条固定在所述框架本体上,并支撑所述掩膜。
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