[发明专利]掩膜板的制作方法及掩膜板有效
申请号: | 201711190767.5 | 申请日: | 2017-11-24 |
公开(公告)号: | CN107740041B | 公开(公告)日: | 2019-08-02 |
发明(设计)人: | 肖灿俊;徐健;刘耀阳 | 申请(专利权)人: | 上海天马微电子有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;H01L51/56 |
代理公司: | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人: | 王刚;龚敏 |
地址: | 201201 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 掩膜 掩膜板 开孔 像素 第二区域 第一区域 矩形图案 显示面板 制作 褶皱 产品良率 显示区域 对位 封堵 混色 张网 缓解 申请 | ||
本申请涉及显示技术领域,尤其涉及一种掩膜板的制作方法及掩膜板。该掩膜板的制作方法包括:获得具有多个像素开孔的掩膜,各所述像素开孔排列成至少一个矩形图案区域,所述矩形图案区域包括与所述显示面板的显示区域对应的第一区域及除所述第一区域之外的第二区域;将所述掩膜与掩膜框架进行对位,并将所述掩膜固定在所述掩膜框架上;封堵位于所述第二区域上的各所述像素开孔,以形成所述掩膜板。该技术方案能够缓解掩膜张网时容易产生褶皱的情况,从而解决由此导致的显示面板混色不良,产品良率降低的问题。
技术领域
本申请涉及显示技术领域,尤其涉及一种掩膜板的制作方法及掩膜板。
背景技术
目前,OLED(Organic Light-Emitting Diode,有机发光二极管)通常采用蒸镀技术制备有机发光层。在显示面板的制备过程中,蒸镀材料通过高温蒸镀淀积在位于蒸发源上方的基板上,为使蒸镀材料按照设计蒸镀到特定的位置上,在基板下方需使用高精度金属掩膜板,掩膜板(即高精度金属掩膜板)上开设有多个像素开孔,蒸镀材料通过各像素开孔沉积到TFT(Thin Film Transistor,薄膜晶体管)基板上,以形成显示面板的有机发光层,该有机发光层位于显示面板的显示区域。
在制作掩膜板的过程中,掩膜上各像素开孔排列的图案区域通常与所需的显示面板的显示区域相匹配,例如:在显示区域呈圆形等异形形状时,该掩膜上的图案区域也呈圆形等异形形状,但具有异形图案区域的掩膜在张网过程中,异形图案区域的边缘容易受力不均匀并产生褶皱,从而导致最终成型的显示面板发生混色不良,产品良率降低。
发明内容
本申请提供了一种掩膜板的制作方法及掩膜板,能够缓解掩膜张网时容易产生褶皱的情况,从而解决由此导致的显示面板混色不良,产品良率降低的问题。
本申请第一方面提供了一种掩膜板的制作方法,所述掩膜板用于制作显示面板,所述制作方法包括:
获得具有多个像素开孔的掩膜,各所述像素开孔排列成至少一个矩形图案区域,所述矩形图案区域包括与所述显示面板的显示区域对应的第一区域及除所述第一区域之外的第二区域;
将所述掩膜与掩膜框架进行对位,并将所述掩膜固定在所述掩膜框架上;
封堵位于所述第二区域上的各所述像素开孔,以形成所述掩膜板。
本申请第二方面提供了一种掩膜板,其采用上述任一项所述的掩膜板制作方法制成,所述掩膜板包括:
掩膜框架;
掩膜,所述掩膜的相对两端固定在所述掩膜框架上,且所述掩膜上具有多个像素开孔,各所述像素开孔排列呈至少一个矩形图案区域,所述矩形图案区域包括与所述显示面板的显示区域对应的第一区域及除所述第一区域之外的第二区域;所述第二区域上的各所述像素开孔内填充有填充物。
本申请提供的技术方案可以达到以下有益效果:
本申请所提供的掩膜板的制作方法,在掩膜上开设有多个像素开孔,各像素开孔形成包括第一区域及第二区域的矩形图案区域,在将掩膜固定在掩膜框架上后,封堵位于第二区域上的各像素开孔,以形成掩膜板,该掩膜板用于制作具有与第一区域相同的显示区域的显示面板。通过将该掩膜上的图案区域设计成矩形,在将掩膜固定在掩膜框架的过程中,该矩形图案区域上两条相对设置的边与掩膜的拉伸方向平行,另两条相对设置的边与掩膜的拉伸方向垂直,使得矩形图案区域能够受到较均匀的拉伸力,不容易产生褶皱,从而可缓解通过使用此掩膜板制作的显示面板混色不良的情况,提高产品良率。
应当理解的是,以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性的,并不能限制本申请。
附图说明
图1为本发明实施例提供的一种掩膜板的结构示意图;
图2为本发明实施例提供的一种掩膜板中掩膜的结构示意图;
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