[发明专利]一种阵列基板及其制备方法、显示面板和显示装置有效

申请号：	201711214162.5	申请日：	2017-11-28
公开（公告）号：	CN107946320B	公开（公告）日：	2020-12-11
发明（设计）人：	李岩锋;于亚楠;徐敬义;赵欣;王晓康;任艳伟;李伟	申请（专利权）人：	京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
主分类号：	H01L27/12	分类号：	H01L27/12;H01L21/84
代理公司：	北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319	代理人：	莎日娜
地址：	100015 ***	国省代码：	北京;11
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摘要：
搜索关键词：	一种阵列及其制备方法显示面板显示装置
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【说明书】：

本申请提供了一种阵列基板的制备方法、阵列基板、显示面板和显示装置，以减少工艺过程中出现open等不良，提高良率；所述阵列基板包括显示区域和非显示区域，在非显示区域，所述阵列基板包括基板以及设置在所述基板上的冗余数据线和有效数据线，所述冗余数据线的宽度大于所述有效数据线的宽度；通过在边缘设置较宽的冗余数据线来吸收曝光、刻蚀工艺过程中在边缘产生的多余能量或粒子，从而有效地保护边缘的冗余数据线和有效数据线不会曝光过量或过刻，减少工艺过程中出现open等不良，提高良率。

技术领域

本发明涉及显示面板技术领域，特别是涉及一种阵列基板的制备方法、阵列基板、显示面板和显示装置。

背景技术

窄边框显示屏因其简洁、美观、相同尺寸可视面积大等优点，已成为高品质显示屏的主要发展趋势，然而随着产品边框逐渐变窄，要求在TFT基板上布线更细且更密。当窄边框产品在SD数据线层进行布线时，fanout布线区数据线的CD关键尺寸或者Space间距均较小，在工艺过程中很容易出现线路弱连接甚至断开的情况，极易发生Open断路等不良，进而造成一定的良率损失。

发明内容

本发明提供一种阵列基板的制备方法、阵列基板、显示面板和显示装置，以减少工艺过程中出现open等不良，提高良率。

为了解决上述问题，本发明公开了一种阵列基板，所述阵列基板包括显示区域和非显示区域，所述非显示区域的阵列基板包括：基板，以及设置在所述基板上的冗余数据线和有效数据线，所述冗余数据线的宽度大于所述有效数据线的宽度。

优选地，所述冗余数据线为网格状。

优选地，所述冗余数据线的宽度与所述有效数据线的宽度之差大于0.5μm且小于或等于68μm。

优选地，所述冗余数据线的宽度大于2.5μm且小于或等于70μm。

优选地，所述冗余数据线的宽度大于10μm且小于或等于20μm。

优选地，所述冗余数据线或所述有效数据线的材料至少为下列之一：Mo、Al、Ti、Au、Cu、Hf、Ta。

优选地，还包括：设置在所述冗余数据线和所述有效数据线上的平坦层。

为了解决上述问题，本发明还公开了一种显示面板，包括上述任一项所述的阵列基板。

为了解决上述问题，本发明还公开了一种显示装置，包括上述的显示面板。

为了解决上述问题，本发明还公开了一种阵列基板的制备方法，所述阵列基板包括显示区域和非显示区域，所述非显示区域的阵列基板的制备方法，包括：