[发明专利]极紫外光光刻系统、液滴产生器的靶材供料系统及将靶材连续供料至液滴产生器的系统

权利要求书

1.一种极紫外光光刻系统，包括：

一极紫外光扫描模块；

一极紫外光收集器，以收集极紫外光辐射且将该极紫外光辐射引导至该极紫外光扫描模块；

一液滴产生器，用于产生一熔融态的一金属的液滴；

一脉冲激光产生器，作用于该熔融态的该金属的该液滴，以产生等离子体作为该极紫外光辐射的一来源；以及

一靶材供料系统，包含：

一容器，用于容纳该金属；

一加热装置，配置为将该容器内的该金属加热至高于该金属的一熔化温度的一温度；以及

一供料管，具有一上游端连接至该容器，和一下游端连接至该液滴产生器，使得该容器与该液滴产生器流体连通。

2.如权利要求1所述的极紫外光光刻系统，其中该供料管包括一外管和一内管共轴地位于该外管内。

3.如权利要求2所述的极紫外光光刻系统，其中该内管的一外表面和该外管的一内表面定义出一环状腔，且该环状腔是气密的。

4.如权利要求3所述的极紫外光光刻系统，其中该供料管还包括一热反射层在该内管的该外表面上。

5.如权利要求4所述的极紫外光光刻系统，其中该供料管还包括一热绝缘层在该热反射层上。

6.如权利要求5所述的极紫外光光刻系统，其中该供料管还包括一加热层在该内管的该外表面和该热反射层之间。

7.一种液滴产生器的靶材供料系统，包括：

一容器，用于容纳一熔融态的一金属；

一加热装置，配置为将该容器内的该金属加热至高于该金属的一熔化温度的一温度；以及

一供料管，具有一上游端连接至该容器，和一下游端接着至该液滴产生器，使得该容器与该液滴产生器流体连通。

8.如权利要求7所述的液滴产生器的靶材供料系统，其中该供料管包括一外管和一内管共轴地位于该外管内。

9.一种将靶材连续供料至液滴产生器的系统，包括：

一第一容器和一第二容器，用于容纳一熔融态的一金属；

一加热装置，配置为将该第一容器和该第二容器内的该金属加热至高于该金属的一熔化温度的一温度；

一阀，连接至该第一容器和该第二容器，且该阀至少在一第一位置和一第二位置之间为可切换的；

一供料管，具有一上游端连接至该阀，和一下游端连接至该液滴产生器，使得该阀与该液滴产生器流体连通，

其中在该第一位置，该第一容器与该液滴产生器流体连通，且在该第二位置，该第二容器与该液滴产生器流体连通。

10.如权利要求9所述的将靶材连续供料至液滴产生器的系统，其中该供料管包括一外管和一内管共轴地位于该外管内。