[发明专利]一种基于软质磨料固着磨具的钽酸锂抛光方法

权利要求书

1.一种基于软质磨料固着磨具的钽酸锂晶片抛光方法，其特征在于，所述抛光方法包括以下步骤：

1)软质磨料固着磨具原料的配制：纳米二氧化硅40％～60％、粘结剂20％～40％、固化剂10％～15％、氧化剂5％～10％、去离子水10％～15％、碱性PH调节剂5％～10％；

2)软质磨料固着磨具的制作：在去离子水中加入固化剂，并搅拌使其溶解，随后加入结合剂、纳米二氧化硅、氧化剂和碱性PH调节剂，将其搅拌均匀，将配置好的配料在模具中热压成形，脱模后完成热固化，并对其上下端面进行修整，保证磨具上下端面的平整度和平行度；

3)软质磨料固着磨具对钽酸锂晶片的抛光：将钽酸锂抛光磨具安装于抛光机的上盘，待加工的钽酸锂晶片放置在会旋转的抛光机下盘，用夹具固定住，启动抛光机，并在上下盘之间注入碱性水基冷却液；钽酸锂抛光磨具上的氧化剂和磨粒对钽酸锂面进行划擦并发生固相反应，从而实现对钽酸锂晶片的抛光。

2.如权利要求1所述的软质磨料固着磨具的钽酸锂晶片抛光方法，其特征在于：在所述步骤3)中，在压力和相对速度的作用下，氧化剂、磨粒与钽酸锂晶片发生固相反应，生成一层软质的、易去除的反应生成物层，并利用后续磨料与生成物层之间的摩擦作用将生成物层去除，从而实现钽酸锂晶片的抛光。

3.如权利要求1或2所述的软质磨料固着磨具的钽酸锂晶片抛光方法，其特征在于：所述粘接剂为氧化镁。

4.如权利要求1或2所述的软质磨料固着磨具的钽酸锂晶片抛光方法，其特征在于：所述固化剂为氯化镁、酚醛-缩醛树脂或酚醛-环氧树脂。

5.如权利要求1或2所述的软质磨料固着磨具的钽酸锂晶片抛光方法，其特征在于：所述纳米二氧化硅的粒度为70～90nm。

6.如权利要求1或2所述的软质磨料固着磨具的钽酸锂晶片抛光方法，其特征在于：所述氧化剂为次氯酸钙、氧酸盐、三价钴盐或重铬酸钾，均为纳米级粉末状颗粒。