[发明专利]一种ESD保护结构有效

专利信息
申请号: 201711223054.4 申请日: 2017-11-29
公开(公告)号: CN108122904B 公开(公告)日: 2020-07-10
发明(设计)人: 单毅;董业民 申请(专利权)人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02;H01L29/06
代理公司: 上海智信专利代理有限公司 31002 代理人: 邓琪
地址: 200050 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 esd 保护 结构
【权利要求书】:

1.一种ESD保护结构,其特征在于,包括:

第一NMOS管,其栅极接一低压电源端;

第二NMOS管,其栅极和源极接地,漏极接所述第一NMOS管的源极;以及

至少一个二极管,串联在一高压输入端与所述第一NMOS管的漏极之间;

所述第一NMOS管、第二NMOS管和至少一个二极管设置在一埋氧层上;

所述第一NMOS管和第二NMOS共同包括一设置在所述埋氧层上的第二P阱区,所述第二P阱区的中间注有第二N+区,两端注有第四N+区,所述第二N+区与第四N+区之间注有第三N+区,其中,所述第二N+区构成所述第一NMOS管的漏极,所述第三N+区同时构成所述第一NMOS管的源极和第二NMOS管的漏极,所述第四N+区构成所述第二NMOS的源极,所述第二N+区与第三N+区之间的P阱上方设有所述第一NMOS的栅极,所述第三N+区与第四N+区之间的P阱上方设有所述第二NMOS的栅极。

2.根据权利要求1所述的ESD保护结构,其特征在于,各所述二极管分别包括一设置在所述埋氧层上的第一P阱区,所述第一P阱区内注有相互隔开的第一P+区和第一N+区,所述第一P+区与第一N+区之间的P阱上方设有伪栅极。

3.根据权利要求1所述的ESD保护结构,其特征在于,所述二极管的数量为两个。

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