[发明专利]一种ESD保护结构有效
申请号: | 201711223054.4 | 申请日: | 2017-11-29 |
公开(公告)号: | CN108122904B | 公开(公告)日: | 2020-07-10 |
发明(设计)人: | 单毅;董业民 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
主分类号: | H01L27/02 | 分类号: | H01L27/02;H01L29/06 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人: | 邓琪 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 esd 保护 结构 | ||
1.一种ESD保护结构,其特征在于,包括:
第一NMOS管,其栅极接一低压电源端;
第二NMOS管,其栅极和源极接地,漏极接所述第一NMOS管的源极;以及
至少一个二极管,串联在一高压输入端与所述第一NMOS管的漏极之间;
所述第一NMOS管、第二NMOS管和至少一个二极管设置在一埋氧层上;
所述第一NMOS管和第二NMOS共同包括一设置在所述埋氧层上的第二P阱区,所述第二P阱区的中间注有第二N+区,两端注有第四N+区,所述第二N+区与第四N+区之间注有第三N+区,其中,所述第二N+区构成所述第一NMOS管的漏极,所述第三N+区同时构成所述第一NMOS管的源极和第二NMOS管的漏极,所述第四N+区构成所述第二NMOS的源极,所述第二N+区与第三N+区之间的P阱上方设有所述第一NMOS的栅极,所述第三N+区与第四N+区之间的P阱上方设有所述第二NMOS的栅极。
2.根据权利要求1所述的ESD保护结构,其特征在于,各所述二极管分别包括一设置在所述埋氧层上的第一P阱区,所述第一P阱区内注有相互隔开的第一P+区和第一N+区,所述第一P+区与第一N+区之间的P阱上方设有伪栅极。
3.根据权利要求1所述的ESD保护结构,其特征在于,所述二极管的数量为两个。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的