[发明专利]一种基片固定装置及包含其的PVD立式产线设备

权利要求书

1.一种基片固定装置，其特征在于，包括顶板(1)和设置在所述顶板(1)上方与所述顶板(1)相适配的载板(2)，所述顶板(1)上设置有多个顶销(3)，所述载板(2)上开设有用以放置基片(11)的载板凹槽(21)，所述载板凹槽(21)的边侧设置有多个基片压紧装置，所述顶销(3)与所述基片压紧装置一一对应，所述基片压紧装置包括用以压紧所述基片(11)的旋转压块和带动所述旋转压块转动的压块驱动单元。

2.根据权利要求1所述的基片固定装置，其特征在于，所述载板凹槽(21)的边侧开设有载板孔(22)，所述载板孔(22)上设置有中间开孔的弹簧固定板(4)，所述压块驱动单元设置于所述载板孔(22)内，所述旋转压块设置于所述弹簧固定板(4)的上侧。

3.根据权利要求2所述的基片固定装置，其特征在于，所述压块驱动单元包括弹簧(9)和旋转销(10)，所述旋转销(10)中段的外壁上设置有环形凸起，所述弹簧(9)套设于所述旋转销(10)外侧，所述弹簧(9)的上端与所述弹簧固定板(4)下侧面相抵接，所述弹簧(9)的下端与所述环形凸起的上侧面相抵接。

4.根据权利要求3所述的基片固定装置，其特征在于，所述旋转压块通过压块螺栓(7)与所述旋转销(10)的上端固定连接，所述旋转压块在所述旋转销(10)的带动下旋转。

5.根据权利要求3所述的基片固定装置，其特征在于，所述旋转销(10)的下端开设有与所述顶销(3)相适配的凹槽。

6.根据权利要求4所述的基片固定装置，其特征在于，所述旋转压块为单旋转压块(5)，所述单旋转压块(5)通过所述压块螺栓(7)固定在所述旋转销(10)上。

7.根据权利要求4所述的基片固定装置，其特征在于，所述旋转压块包括单旋转压块(5)和双旋转压块(6)，所述单旋转压块(5)的端部通过所述压块螺栓(7)固定在所述旋转销(10)上，所述双旋转压块(6)的中部通过所述压块螺栓(7)固定在所述旋转销(10)上。

8.根据权利要求3所述的基片固定装置，其特征在于，所述旋转销(10)的下段外壁上设有旋转销凸起(101)，所述载板孔(22)的内壁上开设有与所述旋转销凸起(101)相适配的载板孔凹糟(23)。

9.根据权利要求8所述的基片固定装置，其特征在于，所述载板孔凹糟(23)包括竖直段载板孔凹糟(231)和螺旋段载板孔凹糟(232)，所述竖直段载板孔凹糟(231)和所述螺旋段载板孔凹糟(232)相连通。

10.一种PVD立式产线设备，其特征在于，包含上述权利要求1至9中任一项所述的基片固定装置。