[发明专利]一种基片固定装置及包含其的PVD立式产线设备

说明书

本发明涉及太阳能电池生产设备技术领域，具体涉及一种基片固定装置，包括顶板和设置在顶板上方与顶板相适配的载板，顶板上设置有多个顶销，载板上开设有用以放置基片的载板凹槽，载板凹槽的边侧设置有多个基片压紧装置，顶销与基片压紧装置一一对应，基片压紧装置包括用以压紧基片的旋转压块和带动旋转压块转动的压块驱动单元。本发明提供的一种基片固定装置及包含其的PVD立式产线设备，可以将基片与载板固定在一起，实现90°直立运动，减小产线设备宽度，且载板直立运动可便于实现回转运动，减小产线设备长度；同时，固定装置结构简单，不需要额外的辅助机械结构，便于实现基片装卸载自动化，有利于产线设备推广。

技术领域

本发明涉及太阳能电池生产设备技术领域，尤其涉及一种基片固定装置及包含其的PVD立式产线设备。

背景技术

随着太阳能电池的普及，如何降低太阳能电池成本，提高太阳能电池产能是太阳能电池企业的研究方向。目前提高产能的主要做法是产线设备+载板搭载多个基片模式，产线设备由多个腔室组成，多个基片放置在载板上每经过一个腔室镀一层膜。

产线设备可分为卧式产线设备和立式产线设备，所谓卧式产线设备，即基片和载板水平经过腔室，由上向下(或由下向上)镀膜；而在立式产线设备中，基片和载板竖直经过腔室，由一侧进行镀膜。相对于卧式产线设备占地面积大，工艺过程中颗粒难以控制等问题，立式产线设备可以有效避免卧式产线设备上述缺点，但如何在竖直载板上固定基片成为主要问题。目前采用的主流做法是将载板倾斜一定角度(常见+7°和-7°)，对应的产线设备为正梯形结构或负梯形结构。此种产线镀膜设备长度可达到几十米，同样存在占地面积较大的问题，同时由于基片与载板之间没有固定，在运动过程中可能会造成基片脱落。因此有必要设计一种基片固定装置，用于固定基片，从而让载板和基片保持直立，可有效减少产线设备占地空间。

发明内容

(一)要解决的技术问题

本发明的目的在于提供一种基片固定装置及包含其的PVD立式产线设备，旨在解决现有技术中的立式产线镀膜设备中基片与载板之间没有固定、基片容易脱落的问题。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种基片固定装置，包括顶板和设置在所述顶板上方与所述顶板相适配的载板，所述顶板上设置有多个顶销，所述载板上开设有用以放置基片的载板凹槽，所述载板凹槽的边侧设置有多个基片压紧装置，所述顶销与所述基片压紧装置一一对应，所述基片压紧装置包括用以压紧所述基片的旋转压块和带动所述旋转压块转动的压块驱动单元。

其中，所述载板凹槽的边侧开设有载板孔，所述载板孔上设置有中间开孔的弹簧固定板，所述压块驱动单元设置于所述载板孔内，所述旋转压块设置于所述弹簧固定板的上侧。

其中，所述压块驱动单元包括弹簧和旋转销，所述旋转销中段的外壁上设置有环形凸起，所述弹簧套设于所述旋转销外侧，所述弹簧的上端与所述弹簧固定板下侧面相抵接，所述弹簧的下端与所述环形凸起的上侧面相抵接。

其中，所述旋转压块通过压块螺栓与所述旋转销的上端固定连接，所述旋转压块在所述旋转销的带动下旋转。

其中，所述旋转销的下端开设有与所述顶销相适配的凹槽。

其中，所述旋转压块为单旋转压块，所述单旋转压块通过所述压块螺栓固定在所述旋转销上。

其中，所述旋转压块包括单旋转压块和双旋转压块，所述单旋转压块的端部通过所述压块螺栓固定在所述旋转销上，所述双旋转压块的中部通过所述压块螺栓固定在所述旋转销上。

其中，所述旋转销的下段外壁上设有旋转销凸起，所述载板孔的内壁上开设有与所述旋转销凸起相适配的载板孔凹糟。

其中，所述载板孔凹糟包括竖直段载板孔凹糟和螺旋段载板孔凹糟，所述竖直段载板孔凹糟和所述螺旋段载板孔凹糟相连通。