[发明专利]一种用于真空腔室内的位置调节装置

权利要求书

1.一种用于真空腔室内的位置调节装置，其特征在于，包括位于真空腔室内的安装支架(3)、可沿直线方向伸缩的第一伸缩组件(2)和用于控制第一伸缩组件(2)伸缩距离的第一旋钮(1)，所述第一伸缩组件(2)的一端与安装支架(3)铰接，所述第一旋钮(1)固定连接在第一伸缩组件(2)的另一端上且位于真空腔室外，所述第一伸缩组件(2)和与之相配合的第一旋钮(1)均为多个；

所述位置调节装置还包括位于真空腔室内的移动磁性圆盘(6)、用于带动移动磁性圆盘(6)沿直线方向移动的第二伸缩组件(5)、用于控制第二伸缩组件(5)伸缩距离的第二旋钮(4)和与移动磁性圆盘(6)相对应的固定磁性圆盘(7)，所述第二伸缩组件(5)的一端与移动磁性圆盘(6)固定连接，所述第二旋钮(4)固定连接在第二伸缩组件(5)的另一端上且位于真空腔室外，所述安装支架(3)位于移动磁性圆盘(6)与固定磁性圆盘(7)之间形成的均匀磁场空间内。

2.如权利要求1所述的用于真空腔室内的位置调节装置，其特征在于，所述第一伸缩组件(2)包括与安装支架(3)铰接的连接杆(21)和可伸缩的第一波纹管(20)，所述第一波纹管(20)的一端通过法兰盘与连接杆(21)的一端连接，所述第一波纹管(20)的另一端通过法兰盘与第一旋钮(1)连接。

3.如权利要求1所述的用于真空腔室内的位置调节装置，其特征在于，所述第二伸缩组件(5)包括第二波纹管，所述第二波纹管的两端分别通过法兰盘与移动磁性圆盘(6)和第二旋钮(4)连接。

4.如权利要求1所述的用于真空腔室内的位置调节装置，其特征在于，所述第一伸缩组件(2)和第一旋钮(1)均为三个。

5.如权利要求4所述的用于真空腔室内的位置调节装置，其特征在于，所述安装支架(3)包括圆环形固定盘(30)和与圆环形固定盘(30)连成一体的三个固定臂(31)，相邻所述固定臂(31)之间的夹角为120度，所述第一伸缩组件(2)与固定臂(31)的一端铰接。