[发明专利]一种用于真空腔室内的位置调节装置

说明书

本发明公开了一种用于真空腔室内的位置调节装置，包括位于真空腔室内的安装支架、可沿直线方向伸缩的第一伸缩组件和用于控制第一伸缩组件伸缩距离的第一旋钮，所述第一伸缩组件的一端与安装支架铰接，所述第一旋钮固定连接在第一伸缩组件的另一端上且位于真空腔室外，所述第一伸缩组件和与之相配合的第一旋钮均为多个。本发明的用于真空腔室内的位置调节装置在真空腔室内设计了这种可以从外部多维度调节内部结构以及磁场的装置，方便我们在实验中直接对放置在真空腔室内部的物体进行方位的微调，降低了实验的难度，减少了实验周期，提高了实验的成功率。

技术领域

本发明属于真空设备技术领域，具体涉及一种用于真空腔室内的位置调节装置。

背景技术

现今真空技术在不断发展，真空环境是真空实验中最关键的技术也是核心技术之一。但是目前的真空系统里大多都结构简单，这样的系统在真空室验中很不方便，我们无法直接改变放置在真空内部的装置(比如说电子枪，高频结构等)的方位，进行两个或多个物体之间的对中，特别是在电真空领域，电子注需要与磁场方向严格一致，因此需要在真空中对磁场或者电子注发射方向进行调节。而传统的真空腔室只能通过真空系统放气，取出结构调节，再放入腔室再抽气来实现这些操作，而且很有可能需要多次调节，造成极大的时间和物质浪费，严重阻碍实验的进程，大大增加了实验周期与难度。

发明内容

本发明的目的在于：针对上述存在的问题，提供了一种用于真空腔室内的位置调节装置在真空腔室内设计了这种可以从外部多维度调节内部结构以及磁场的装置，方便我们在实验中直接对放置在真空腔室内部的物体进行方位的微调，降低了实验的难度，减少了实验周期，提高了实验的成功率。

为了实现上述目的，本发明采用的技术方案为：本发明公开了一种用于真空腔室内的位置调节装置，包括位于真空腔室内的安装支架、可沿直线方向伸缩的第一伸缩组件和用于控制第一伸缩组件伸缩距离的第一旋钮，所述第一伸缩组件的一端与安装支架铰接，所述第一旋钮固定连接在第一伸缩组件的另一端上且位于真空腔室外，所述第一伸缩组件和与之相配合的第一旋钮均为多个。

优选的是，所述第一伸缩组件包括与安装支架铰接的连接杆和可伸缩的第一波纹管，所述第一波纹管的一端通过法兰盘与连接杆的一端连接，所述第一波纹管的另一端通过法兰盘与第一旋钮连接。

优选的是，所述位置调节装置还包括位于真空腔室内的移动磁性圆盘、用于带动移动磁性圆盘沿直线方向移动的第二伸缩组件、用于控制第二伸缩组件伸缩距离的第二旋钮和与移动磁性圆盘相对应的固定磁性圆盘，所述第二伸缩组件的一端与移动磁性圆盘固定连接，所述第二旋钮固定连接在第二伸缩组件的另一端上且位于真空腔室外，所述安装支架位于移动磁性圆盘与固定磁性圆盘之间形成的均匀磁场空间内。

优选的是，所述第二伸缩组件包括第二波纹管，所述第二波纹管的两端分别通过法兰盘与移动磁性圆盘和第二旋钮连接。

优选的是，所述第一伸缩组件和第一旋钮均为三个。

优选的是，所述安装支架包括圆环形固定盘和与圆环形固定盘连成一体的三个固定臂，相邻所述固定臂之间的夹角为120度，所述第一伸缩组件与固定臂的一端铰接。

由于采用了上述技术方案，本发明的有益效果是：

本发明的用于真空腔室内的位置调节装置采用多个第一伸缩组件和与之相匹配的多个第一旋钮(最优为三个)，并且用于安装电子枪、高频结构等装置的安装支架与第一伸缩组件铰接，当通过外部的第一旋钮调节伸缩组件伸缩时，能够在水平方向和侧方向上有效的调节放在真空腔室内部的结构，使得高频结构的对中，电子枪束流的发射方向等变得简单易操作；此外由于第二伸缩组件与移动磁性圆盘固定连接，可以通过第二旋钮调节第二伸缩组件的伸缩从而改变移动磁性圆盘和固定磁性圆盘之间的距离，从而改变两磁性圆盘之间的磁场强度，实现快捷方便的进行实验。

附图说明