[发明专利]基板处理系统以及基板的处理费用计算系统

权利要求书

1.一种基板处理系统，其中，

所述基板处理系统具备：

基板处理机构，其使用药液对基板进行处理；

药液管理机构，其对在所述基板处理机构反复使用的所述药液的浓度进行管理；以及

配管，其与所述基板处理机构连接，将由所述药液管理机构向所述药液供给的补充液输送至所述基板处理机构，

在所述配管中配备有累计流量计。

2.根据权利要求1所述的基板处理系统，其中，

所述基板处理系统还具备：

药液调制机构，其将所述药液调制为新液；以及

新液用配管，其与所述基板处理机构及所述药液调制机构连接，通过所述药液管理机构向在所述基板处理机构反复使用的药液供给由所述药液调制机构调制出的所述新液，

在所述新液用配管中配备有累计流量计。

3.根据权利要求2所述的基板处理系统，其中，

所述基板处理系统还具备：

药液再生机构，其将在所述基板处理机构使用后的所述药液再生为能够再利用的再生液；以及

再生液用配管，其与所述基板处理机构及所述药液再生机构连接，通过所述药液管理机构向在所述基板处理机构反复使用的药液供给由所述药液再生机构再生后的所述再生液，

在所述再生液用配管中配备有累计流量计。

4.根据权利要求1所述的基板处理系统，其中，

所述基板处理系统还具备：

药液再生机构，其将在所述基板处理机构使用后的所述药液再生为能够再利用的再生液；以及

再生液用配管，其与所述基板处理机构及所述药液再生机构连接，通过所述药液管理机构向在所述基板处理机构反复使用的药液供给由所述药液再生机构再生后的所述再生液，

在所述再生液用配管中配备有累计流量计。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的基板处理系统，其中，

所述累计流量计具备通信功能。

6.一种基板处理系统，其中，

所述基板处理系统具备：

基板处理机构，其使用药液对基板进行处理；

药液调制机构，其将所述药液调制为新液；以及

新液用配管，其与所述基板处理机构及所述药液调制机构连接，将由所述药液调制机构调制出的所述新液输送至所述基板处理机构，

在所述新液用配管中配备有累计流量计。

7.根据权利要求6所述的基板处理系统，其中，

所述累计流量计具备通信功能。

8.一种基板处理系统，其中，

所述基板处理系统具备：

基板处理机构，其使用药液对基板进行处理；

药液再生机构，其将在所述基板处理机构使用后的所述药液再生为能够再利用的再生液；以及

再生液用配管，其与所述基板处理机构及所述药液再生机构连接，将由所述药液再生机构再生后的所述再生液输送至所述基板处理机构，

在所述再生液用配管中配备有累计流量计。

9.根据权利要求8所述的基板处理系统，其中，

所述累计流量计具备通信功能。

10.一种基板的处理费用计算系统，其中，

所述基板的处理费用计算系统具备：

基板处理机构，其使用药液对基板进行处理；

下述组合中的至少任一组合：对在所述基板处理机构反复使用的所述药液的浓度进行管理的药液管理机构、与同所述基板处理机构连接且将由所述药液管理机构向所述药液供给的补充液输送至所述基板处理机构的配管的组合，将所述药液调制为新液的药液调制机构、与同所述基板处理机构及所述药液调制机构连接且将由所述药液调制机构调制出的所述新液输送至所述基板处理机构的新液用配管的组合，以及将在所述基板处理机构使用后的所述药液再生为能够再利用的再生液的药液再生机构、与同所述基板处理机构及所述药液再生机构连接且将由所述药液再生机构再生后的所述再生液输送至所述基板处理机构的再生液用配管的组合；

基板处理系统，其在所述配管、所述新液用配管以及所述再生液用配管配备有具有通信功能的累计流量计；以及

服务器系统，其经由网络与所述累计流量计连接，

所述服务器系统具备：

接收部，其经由所述网络而接收所述累计流量计所计测出的累计流量；

存储部，其按照每个所述累计流量计而存储由所述接收部接收到的所述累计流量的历史信息；以及

运算部，其基于由所述存储部存储的所述历史信息，按照每个所述基板处理系统而计算规定期间内的由所述基板处理系统处理的基板的处理费用。