[发明专利]监测排出头的位置和位移的涂覆装置以及控制其的方法

说明书

一种涂覆装置，包括：排出头，其包括喷射涂层溶液的喷嘴；涂层材料供给装置，其连接到喷嘴并将涂层材料提供给喷嘴；以及控制部件，其连接到排出头，其中，排出头进一步包括感测排出头的位移的传感器部件，并且控制部件连接到传感器部件并使用由传感器部件感测到排出头的位移来确定排出头是否已经发生故障。

技术领域

本公开涉及一种用于监测排出头的位移的涂覆装置以及控制其的方法，更具体地，涉及一种能够检测排出头的位移以确定是否发生异常并预测失败的时间点的涂覆装置以及控制其的方法。

背景技术

通常，涂覆装置将涂层溶液涂覆到诸如基板或膜的要涂覆的构件上，以形成涂层薄膜。在涂覆装置之中，狭缝喷嘴涂覆装置包括狭缝喷嘴，狭缝喷嘴从具有狭缝形的排出口排出涂层溶液。

另外，狭缝喷嘴包括供给涂层溶液的供给口、与供给口流体连通以沿狭缝喷嘴的长度方向加宽涂层溶液的歧管、通过连接到歧管使涂层溶液通过其的排出狭缝(流动路径部件)以及涂层溶液通过其从排出狭缝的出口被排出的排出口。

此外，从供给口引入到歧管中的涂层溶液在歧管中沿长度方向加宽，一旦填满歧管，就流经排出狭缝，然后排出到与排出口间隔开预定间隙的要涂覆的构件上。在此情况下，当狭缝喷嘴相对于要涂覆的构件相对移动时，涂层溶液沿排出口的长度方向在整个长度上均匀地排出，由此使得在要涂覆的构件上形成具有均匀薄膜厚度的涂膜成为可能。

然而，在根据现有技术的涂覆装置中，当排出头发生故障或排出头与喷嘴之间的连接部件出现间隙时，排出头可能从设定的位置移位且涂层过程不能正常地进行，其导致缺陷。

另外，因为涂覆装置的故障不可能提前预测，所以在确认由于故障产生缺陷产品之后应该修复故障。结果，由于出现许多缺陷产品，所以生产率可能下降。

发明内容

本公开的一个目的是提供一种涂覆装置以及控制其的方法，所述涂覆装置能够感测排出头的位移以确认是否已经发生故障。

本公开的另一个目的是提供一种涂覆装置以及控制其的方法，所述涂覆装置能够感测排出头的位移以提前预测涂覆装置的故障时间点。

本公开的又一个目的是提供一种涂覆装置以及控制其的方法，所述涂覆装置能够感测排出头的位移并在确定故障时将排出头移动到正常状态。

根据本公开的一个方面，一种涂覆装置，包括：排出头，其包括喷射涂层溶液的喷嘴；涂层材料供给装置，其连接到喷嘴并将涂层材料提供给喷嘴；以及控制部件，其连接到排出头，其中，排出头进一步包括感测排出头的位移的传感器部件，并且控制部件连接到传感器部件并使用由传感器部件感测到排出头的位移来确定排出头是否已经发生故障。

控制部件可以包括数据库，排出头的驱动信息和位置信息储存在所述数据库中，并且控制部件将由传感器部件提供的排出头的位移与数据库的位置信息进行对比，以确定是否已经发生故障并预测故障时间点。

传感器部件可以包括感测排出头的位移和倾斜的加速度传感器和角速度传感器。

涂覆装置可以进一步包括排出头移动部件，其连接到排出头，并为了涂层工作而移动排出头；涂层材料供给装置，其包括连接到喷嘴的供给管和通过供给管将涂层材料提供给喷嘴的供给泵；以及储液箱，其连接到涂层材料供给装置，并将涂层材料提供给涂层材料供给装置。

涂覆装置可以进一步包括平台部件，其定位为面向排出头的喷嘴，并具有就位于其上的要涂覆的构件。