[发明专利]基于柔性薄膜封装的平板探测器及其制备方法

说明书

本发明提供一种基于柔性薄膜封装的平板探测器及其制备方法，制备方法包括：提供一支撑基板，并于支撑基板上形成离型层；于离型层上形成阻挡层，于阻挡层上形成柔性基底层；剥离去除支撑基板及离型层，得到一柔性薄膜；提供一形成有闪烁体层的感光器阵列，将柔性薄膜制作于感光器阵列上，柔性薄膜覆盖闪烁体层且阻挡层远离所述闪烁体层，得到平板探测器。通过上述方案，本发明可以通过简单的工艺完成平板探测器的制备，成本低，并且通过含有阻挡层、柔性基底层以及反射层构成的三明治的柔性薄膜封装结构，可以有效改善平板探测器碘化铯封装防水、耐磨性能，工艺兼容好，成像质量高。

技术领域

本发明属于平板探测器设计及制造技术领域，特别是涉及一种基于柔性薄膜封装的平板探测器及其制备方法。

背景技术

X射线摄影术利用X射线短波长、易穿透的性质，不同物质对X射线吸收不同的特点，通过探测透过物体的X射线的强度来成像。平板探测器(FPD：flat panel detector)作为X射线成像系统的核心部件，负责将X射线转化成电信号并记录成像，可通过显示器适时显示，亦可保存供后续读取。

一般来说，FPD包括闪烁屏、像素阵列(感光器阵列)、控制模块、信号处理模块和通信模块。闪烁体吸收X光将其转化为可见光；像素阵列将闪烁体产生的可见光转化为电信号；信号处理模块将电信号放大并通过模数转换生成数字信号，通过校正、补偿后成像。在X射线平板探测器行业，碘化铯闪烁屏具有低剂量、高分辨率、高的图像质量，成为行业内发展的主流产品。对于碘化铯闪烁屏，当接受到X射线光子激发时可以转化为可见光光子，可见光光子进而被光电转换面板接受转为电子空缺对，从而被外围电路读出生成图像。

现有技术中，碘化铯闪烁屏，包含基体、碘化铯闪烁体层、封装层；一种方式是采用防水透明胶带，防水透明胶带为单纯的有机膜，其防水性耐磨性能差，另外，基体一般有碳板、光纤导板、铝基板，为了提高出光效率和防水性，通常采用有机薄膜和无机薄膜的透明封装方式，特别是无机膜的加入，可以提高防水性能，但透明封装使用CVD和ALD溅射设备完成封装，存在设备成本高昂等问题。

近来，随着柔性电子技术的成熟，柔性显示产品开始投入市场，进入普通消费者的日常生活，其轻薄可弯折和优异的性能表现，使得柔性显示成为新一代显示技术，将广泛应用于物联网、智能家居、虚拟现实、可穿戴电子设备。

因此，如何提供一种基于柔性薄膜封装的平板探测器及其制备方法，以解决现有技术中的上述问题实属必要。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种基于柔性薄膜封装的平板探测器及其制备方法，用于解决现有技术中平板探测器封装工艺复杂、成本高以及防水耐磨性能有限等问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种基于柔性薄膜封装的平板探测器的制备方法，包括如下步骤：

1)提供一支撑基板，并于所述支撑基板上形成离型层；

2)于所述离型层上形成阻挡层，并于所述阻挡层上形成柔性基底层；

3)剥离去除所述支撑基板及所述离型层，剩余结构层构成一柔性薄膜；以及

4)提供一形成有闪烁体层的感光器阵列，并将所述柔性薄膜制作于所述感光器阵列上，所述柔性薄膜覆盖所述闪烁体层且所述阻挡层远离所述闪烁体层，得到平板探测器。

作为本发明的一种优选方案，步骤2)中还包括步骤：于所述柔性基底层上形成反射层。

作为本发明的一种优选方案，步骤2)中，形成所述柔性基底层的步骤包括：将液态原料通过涂覆、溅射、喷涂及丝网印刷中的任意一种工艺制备于所述阻挡层表面，并通过固化工艺将所述液态原料固化，以形成所述柔性基底层。