[发明专利]不同真空度腔室间的传样互联装置

权利要求书

1.一种不同真空度腔室间的传样互联装置，其特征在于，所述不同真空度腔室间的传样互联装置包括压强均小于标准大气压的第一腔室和第二腔室，所述第一腔室内的压强小于所述第二腔室内的压强，所述第二腔室沿周向依次设有第一接口、第二接口、第三接口和第四接口，所述第二腔室通过所述第一接口与所述第一腔室相连，所述第一腔室与所述第二腔室之间设有闸板阀，所述第四接口通过能泄压的快门阀与手套箱相连，所述第二接口密封穿设有能滑动于所述手套箱与所述第二腔室之间的第一传样杆，所述第三接口密封穿设有能滑动于所述第一腔室与所述第二腔室之间的第二传样杆；

所述第一传样杆包括位于所述第二腔室外的操作端和位于所述第二腔室内的盛放端，所述第二传样杆也包括位于所述第二腔室外的操作端和位于所述第二腔室内的盛放端，所述第一传样杆的盛放端和所述第二传样杆的盛放端均能固设托盘；

所述托盘呈圆形，所述托盘沿周向等间隔的设有多个凹槽，每个所述凹槽内能拆卸的插设盛放样品的样品托。

2.根据权利要求1所述的不同真空度腔室间的传样互联装置，其特征在于，所述第二腔室的第二接口和第三接口分别设有密封法兰，所述第一传样杆能滑动的密封穿设于所述第二接口处的密封法兰，所述第二传样杆能滑动的密封穿设于所述第三接口处的密封法兰。

3.根据权利要求1所述的不同真空度腔室间的传样互联装置，其特征在于，所述第一腔室与所述第二腔室之间通过金属波纹管相连，所述闸板阀设于所述金属波纹管与所述第一接口之间。

4.根据权利要求1所述的不同真空度腔室间的传样互联装置，其特征在于，所述快门阀具有密封座和密封接口，所述密封接口位于所述密封座的一侧，所述密封接口与所述第四接口密封相连，所述密封座与所述手套箱密封相连，所述密封座的另一侧设有基圈和能开闭的设于基圈上的快门，所述基圈和所述快门位于所述手套箱内。

5.根据权利要求4所述的不同真空度腔室间的传样互联装置，其特征在于，所述基圈的一端设有能转动的卡销，所述快门的一端设有卡槽，所述卡销能卡设于所述卡槽。

6.根据权利要求5所述的不同真空度腔室间的传样互联装置，其特征在于，所述卡销上能滑动的设有泄压座，所述泄压座与所述卡销的外端部之间设有弹簧，在所述卡销卡设于所述卡槽的状态下，所述泄压座在所述弹簧的作用下抵接于所述卡槽的侧壁。

7.根据权利要求1所述的不同真空度腔室间的传样互联装置，其特征在于，所述手套箱上设有观察视窗。

8.根据权利要求1所述的不同真空度腔室间的传样互联装置，其特征在于，所述第一腔室为超高真空腔室，其内压强为10^-8mbar～10^-12mbar；所述第二腔室为高真空腔室，其内压强为10^-3mbar～10^-8mbar。