[发明专利]不同真空度腔室间的传样互联装置

说明书

本发明提供一种不同真空度腔室间的传样互联装置，其包括压强均小于标准大气压的第一腔室和第二腔室，第一腔室内的压强小于第二腔室内的压强，第二腔室沿周向依次设有第一接口、第二接口、第三接口和第四接口，第二腔室通过第一接口与第一腔室相连，第一腔室与第二腔室之间设有闸板阀，第四接口通过能泄压的快门阀与手套箱相连，第二接口密封穿设有能滑动于手套箱与第二腔室之间的第一传样杆，第三接口密封穿设有能滑动于第一腔室与第二腔室之间的第二传样杆。本发明能实现在不同真空度的腔室内进行样品的传递，保证不同真空度腔体环境，安全可靠。

技术领域

本发明涉及真空技术领域，具体是一种传样互联装置，更具体的是一种不同真空度腔室间的传样互联装置。

背景技术

目前，在不同真空系统中的样品的传递主要是由高真空系统到超高真空系统的传递，其是通过磁耦合的直线传样杆100(如图1所示)直接进行传递的，即通过磁耦合的直线传样杆100直接将样品从高真空系统传送到超高真空系统中，其在传送过程中无法保持高真空系统和超高真空系统的环境，而且，对于有毒和有辐射的样品，很难直接传递到超高真空系统中，且在其传递过程中，其样品暴露于大气中，容易对大气造成污染，并对人体造成伤害。

有鉴于上述现有技术存在的问题，本发明人结合相关制造领域多年的设计及使用经验，提供一种不同真空度腔室间的传样互联装置，来克服上述缺陷。

发明内容

本发明的目的是提供一种不同真空度腔室间的传样互联装置，其能实现在不同真空度的腔室内进行样品的传递，保证不同真空度腔体环境，安全可靠。

本发明的上述目的可采用下列技术方案来实现：

本发明提供一种不同真空度腔室间的传样互联装置，其包括压强均小于标准大气压的第一腔室和第二腔室，所述第一腔室内的压强小于所述第二腔室内的压强，所述第二腔室沿周向依次设有第一接口、第二接口、第三接口和第四接口，所述第二腔室通过所述第一接口与所述第一腔室相连，所述第一腔室与所述第二腔室之间设有闸板阀，所述第四接口通过能泄压的快门阀与手套箱相连，所述第二接口密封穿设有能滑动于所述手套箱与所述第二腔室之间的第一传样杆，所述第三接口密封穿设有能滑动于所述第一腔室与所述第二腔室之间的第二传样杆。

在优选的实施方式中，所述第一传样杆包括位于所述第二腔室外的操作端和位于所述第二腔室内的盛放端，所述第二传样杆也包括位于所述第二腔室外的操作端和位于所述第二腔室内的盛放端，所述第一传样杆的盛放端和所述第二传样杆的盛放端均能固设托盘。

在优选的实施方式中，所述托盘呈圆形，所述托盘沿周向等间隔的设有多个凹槽，每个所述凹槽内能拆卸的插设盛放样品的样品托。

在优选的实施方式中，所述第二腔室的第二接口和第三接口分别设有密封法兰，所述第一传样杆能滑动的密封穿设于所述第二接口处的密封法兰，所述第二传样杆能滑动的密封穿设于所述第三接口处的密封法兰。

在优选的实施方式中，所述第一腔室与所述第二腔室之间通过金属波纹管相连，所述闸板阀设于所述金属波纹管与所述第一接口之间。

在优选的实施方式中，所述快门阀具有密封座和密封接口，所述密封接口位于所述密封座的一侧，所述密封接口与所述第四接口密封相连，所述密封座与所述手套箱密封相连，所述密封座的另一侧设有基圈和能开闭的设于基圈上的快门，所述基圈和所述快门位于所述手套箱内。

在优选的实施方式中，所述基圈的一端设有能转动的卡销，所述快门的一端设有卡槽，所述卡销能卡设于所述卡槽。

在优选的实施方式中，所述卡销上能滑动的设有泄压座，所述泄压座与所述卡销的外端部之间设有弹簧，在所述卡销卡设于所述卡槽的状态下，所述泄压座在所述弹簧的作用下抵接于所述卡槽的侧壁。

在优选的实施方式中，所述手套箱上设有观察视窗。