[发明专利]有机保焊膜的工艺控制方法及膜厚获取方法

权利要求书

1.一种有机保焊膜的膜厚获取方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)、在多个相同规格的基板单元加工第一有机保焊膜，使所述第一有机保焊膜加工为不同膜厚规格，相同膜厚的所述第一有机保焊膜至少加工于一个所述基板单元，记录与各个所述基板单元对应的所述第一有机保焊膜的膜厚；

(2)、获取各个所述基板单元对应所述第一有机保焊膜的碳含量；

(3)、基于所述步骤(1)和所述步骤(2)，建立所述第一有机保焊膜的膜厚与所述第一有机保焊膜的碳含量之间对应关系；

(4)、获取待测基板上第二有机保焊膜的碳含量；

(5)、根据所述步骤(3)得到的所述第一有机保焊膜的膜厚与所述第一有机保焊膜的碳含量之间对应关系并利用所述第二有机保焊膜的碳含量进行推算、得到所述第二有机保焊膜的膜厚。

2.根据权利要求1所述的有机保焊膜的膜厚获取方法，其特征在于，所述步骤(3)中，相同膜厚所述第一有机保焊膜的碳含量取对应多个所述基板单元上所述第一有机保焊膜碳含量的中位值。

3.根据权利要求1所述的有机保焊膜的膜厚获取方法，其特征在于，所述第一有机保焊膜的膜厚呈等差数列设置。

4.根据权利要求1所述的有机保焊膜的膜厚获取方法，其特征在于，所述步骤(2)中，所述第一有机保焊膜的碳含量获取包括以下步骤：

(a₁)、测试所述第一有机保焊膜的膜表面与X光线之间的垂直度、并使所述垂直度达到对所述第一有机保焊膜进行元素分析的垂直度要求；

(a₂)、对所述第一有机保焊膜采用能谱仪进行元素分析，获取所述第一有机保焊膜的碳含量；

或所述步骤(4)中，所述第二有机保焊膜碳含量获取包括以下步骤：

(b₁)、测试所述第二有机保焊膜的膜表面与X光线之间的垂直度、并使所述垂直度达到对所述第二有机保焊膜进行元素分析的垂直度要求；

(b₂)、对所述第二有机保焊膜采用能谱仪进行元素分析，获取所述第二有机保焊膜的碳含量。

5.根据权利要求4所述的有机保焊膜的膜厚获取方法，其特征在于，所述步骤(a₂)或所述步骤(b₂)中，所述能谱仪与扫描电子显微镜配合进行所述第一有机保焊膜或所述第二有机保焊膜的元素分析。

6.根据权利要求1-5任一项所述的有机保焊膜的膜厚获取方法，其特征在于，所述步骤(5)之后，还包括以下步骤：

(c₁)、将各个所述基板单元分别放入相同规格的、可用于测透光率的溶解液、并使所述第一有机保焊膜溶解；

(c₂)、分别测量所述基板单元对应溶解液的透光率，得到不同膜厚所述第一有机保焊膜对应溶解液的透光率；

(c₃)、基于所述步骤(1)得到所述第一有机保焊膜膜厚与所述步骤(c₂)得到所述第一有机保焊膜在溶解液中透光率，建立所述第一有机保焊膜的膜厚与透光率之间的对应关系；

(c₄)、获取所述待测基板上第二有机保焊膜在溶解液中的透光率；

(c₅)、根据步骤(c₃)确定的所述第一有机保焊膜膜厚与透光率之间对应关系并利用所述第二有机保焊膜在溶解液中的透光率进行推算，得到所述第二有机保焊膜的膜厚；

(c₆)、取所述步骤(5)获得所述第二有机保焊膜膜厚与所述步骤(c₅)获得所述第二有机保焊膜膜厚的平均值作为膜厚的最终值。

7.根据权利要求6所述的有机保焊膜的膜厚获取方法，其特征在于，所述步骤(c₂)中，采用紫外分光光度计获取不同厚度的所述第一有机保焊膜对应溶解液的透光率；

或所述步骤(c₄)中，采用紫外分光光度计获取不同厚度的所述第二有机保焊膜对应溶解液的透光率。