[发明专利]安全装置、工件台及光刻机

权利要求书

1.一种安全装置，其特征在于，所述安全装置包括作用块组件和安全销组件，所述作用块组件位于第一基准线上，所述安全销组件位于第二基准线上，所述第一基准线和所述第二基准线之间具有一小于或等于90度的夹角；

所述作用块组件包括驱动单元和作用块，所述驱动单元能够驱动所述作用块沿着所述第一基准线往返运动；

所述安全销组件包括导向单元和设置于所述导向单元内的插销，所述插销包括第一端和第二端，所述第二端较所述第一端远离所述作用块；

所述驱动单元驱动所述作用块沿着所述第一基准线往返运动时，所述作用块带动所述插销的第二端沿着所述第二基准线伸出所述导向单元或缩进所述导向单元内。

2.如权利要求1所述的安全装置，其特征在于，所述第一基准线和所述第二基准线垂直。

3.如权利要求1所述的安全装置，其特征在于，所述作用块包括一斜面、A端和B端，所述作用块的A端和B端分别于所述斜面的两端连接，并且在沿所述第二基准线方向上所述A端较所述B端尺寸小。

4.如权利要求3所述的安全装置，其特征在于，当所述插销的第一端接触所述作用块的A端时，所述插销缩进所述导向单元内；当所述插销的第一端接触所述作用块的B端时，所述插销伸出所述导向单元。

5.如权利要求4所述的安全装置，其特征在于，所述作用块上设置有一导轨，所述插销的第一端设置有可动结构，所述可动结构能够沿着所述导轨运动。

6.如权利要求5所述的安全装置，其特征在于，所述导轨包括轮槽、直线导轨或滑轨，所述可动结构包括滚轮或滑块。

7.如权利要求6所述的安全装置，其特征在于，所述作用块与所述滚轮的材料为异极磁性材料。

8.如权利要求3所述的安全装置，其特征在于，所述定位销组件还包括复位单元，所述复位单元套接在所述插销，在所述插销处于伸出所述导向单元的状态时，所述插销处于缩进的趋势。

9.一种工件台，其特征在于，包括一工作台面和若干个如权利要求1-8中任一项所述的安全装置；

所述安全装置固定在所述工作台面上，所述工作台面运动时，带动所述安全装置一起运动；

所述安全装置的作用块与所述工作台面接触，所述驱动单元驱动所述作用块在所述工作台面上沿着第一基准线往返运动。

10.如权利要求9所述的工件台，其特征在于，所述安全装置的数量大于等于两个。

11.如权利要求9所述的工件台，其特征在于，所述工作台面上设置有导轨，所述驱动单元驱动所述作用块在所述导轨上沿着第一基准线往返运动。

12.一种光刻机，其特征在于，包括机架和如权利要求9-11中任一项所述的工件台，所述工件台设置于所述机架内，所述机架上设置有销孔。

13.如权利要求12所述的光刻机，其特征在于，所述销孔的数量与所述安全装置的数量匹配。