[发明专利]安全装置、工件台及光刻机

说明书

本发明提供了一种安全装置、工件台及光刻机，所述安全装置固定在工件台面上，所述工件台面运动时，带动所述安全装置一起运动，所述安全装置的作用块组件位于第一基准线上，安全销组件位于第二基准线上，所述第一基准线和所述第二基准线之间的夹角小于或等于90度，所述作用块组件包括驱动单元和作用块，所述驱动单元能够驱动所述作用块往返运动，带动所述插销伸出所述导向单元的端面或缩进所述导向单元的端面内，通过驱动单元与作用块的配合，使得作用块组件与安全销组件变为非轴向的布置，将轴向尺寸大大压缩，满足了轴向尺寸紧张场合的使用要求。

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种安全装置、工件台及光刻机。

背景技术

目前，在光刻领域内，工件台作为光刻机整机系统中一个独立的精密运动平台，工件台可以移入移出光刻机用于对工件台或光刻机其他结构进行维护，安全装置用来对工件台进行定位和保护。安全装置通过作用块组件实现安全销在销孔内的伸出伸回，继而实现对设备的位置限制，在工件台移入移出过程中起到安全保护作用。

现有的安全装置，一般是气缸、插销通过防转装置连接，而气缸、插销和防转装置均设置在一条轴上，气缸的活塞与插销直接相连，活塞的伸缩运动带动插销伸进或退出销孔，然而，现有的安全装置轴向占用空间较大，在轴向尺寸紧张的场合无法应用。

发明内容

本发明的目的在于提供一种安全装置、工件台及光刻机，以解决现有的安全装置轴向占用空间较大，在轴向尺寸紧张的场合无法应用等问题。

为了达到上述目的，本发明提供了一种安全装置，所述安全装置包括作用块组件和安全销组件，所述作用块组件位于第一基准线上，所述安全销组件位于第二基准线上，所述第一基准线和所述第二基准线之间具有一小于或等于90度的夹角；

所述作用块组件包括驱动单元和作用块，所述驱动单元能够驱动所述作用块沿着所述第一基准线往返运动；

所述安全销组件包括导向单元和设置于所述导向单元内的插销，所述插销包括第一端和第二端，所述第二端较所述第一端远离所述作用块；

所述驱动单元驱动所述作用块沿着所述第一基准线往返运动时，所述作用块带动所述插销的第二端沿着所述第二基准线伸出所述导向单元或缩进所述导向单元内。

可选的，所述第一基准线和所述第二基准线垂直。

可选的，所述作用块包括一斜面、A端和B端，所述作用块的A端和B端分别于所述斜面的两端连接，并且所述A端在沿所述第二基准线方向上较所述B端尺寸小。

可选的，当所述插销的第一端接触所述作用块的A端时，所述插销缩进所述导向单元内；当所述插销的第一端接触所述作用块的B端时，所述插销伸出所述导向单元。

可选的，所述作用块上设置有一导轨，所述插销的第一端设置有可动结构，所述可动结构能够沿着所述导轨运动。

可选的，所述导轨包括轮槽、直线导轨或滑轨，所述可动结构包括滚轮或滑块。

可选的，所述作用块与所述滚轮的材料为异极磁性材料。

可选的，所述定位销组件还包括复位单元，所述复位单元套接在所述插销，在所述插销处于伸出所述导向单元的状态时，所述插销处于缩进的趋势。

本发明还提供了一种工件台，包括一工作台面和若干个所述安全装置；

所述安全装置固定在所述工作台面上，所述工作台面运动时，带动所述安全装置一起运动；

所述安全装置的作用块与所述工作台面接触，所述驱动单元驱动所述作用块在所述工作台面上沿着第一基准线往返运动。

可选的，所述安全装置的数量大于等于两个。