[发明专利]掩膜板

说明书

本发明涉及一种掩膜板，包括：空闲区和至少一个有效蒸镀区，空闲区设置于有效蒸镀区的外侧；至少一个有效蒸镀区开设有多个蒸镀开口，各蒸镀开口均匀分布设置；有效蒸镀区与空闲区之间还设置有过渡区，过渡区包围有效蒸镀区设置，过渡区的厚度小于有效蒸镀区的厚度，且小于空闲区的厚度。通过在有效蒸镀区和空闲区之间设置过渡区，由于该过渡区的厚度相对于有效蒸镀区以及空闲区的厚度更小，使得过渡区的强度较小，当在掩膜板两端施加拉力时，在力的传递过程中，拉力受到的反作用逐渐减小，使得空闲区到有效蒸镀区的变形能平缓过渡，有效减小褶皱，减小有效蒸镀区的形变，使得蒸镀效果更佳，从而提高蒸镀的产品良率。

技术领域

本发明涉及有机发光显示制造技术领域，特别是涉及掩膜板。

背景技术

AMOLED(Active-matrix organic light emitting diode，有源矩阵有机发光二极体)生产制程中最影响良率的即为蒸镀制程，蒸镀制程的基本过程即通过加热有机材料，使得有机材料蒸发，并通过高精度精细掩膜板蚀刻完成的通孔蒸镀到玻璃基板上，形成发光单元。

通常精细掩膜板的制作方法是通过将掩膜板焊接在掩膜板边框上，而在焊接之前通常要对掩膜板施加一定的拉力，对掩膜板进行张拉，其目的是为了保证掩膜板的开口能够符合设计的尺寸。而掩膜板施加一定拉力时，会由于受力不均，出现一定程度的扭曲和变形，使得蒸镀开口偏离原来的设计尺寸和形状，造成形状和尺寸误差。为减少掩膜板的变形及开口变形不均匀性，目前通常在掩膜板有效显示区的周围分布设计镂空的空闲区域(dummy)，通过调整空闲区域的尺寸、形状和分布来调整变形均匀性。但是有效显示区和空闲区域之间的过渡区域的强度与镂空开口的强度不同，在张网时此过渡区域容易有突兀的变形不均匀性，存在褶皱，严重时甚至影响到有效显示区边缘部分，导致良率降低。

发明内容

基于此，有必要提供一种掩膜板。

一种掩膜板，包括：空闲区和至少一个有效蒸镀区，所述空闲区设置于所述有效蒸镀区的外侧；

所述至少一个有效蒸镀区开设有多个蒸镀开口，各所述蒸镀开口均匀分布设置；

所述有效蒸镀区与所述空闲区之间还设置有过渡区，所述过渡区包围所述有效蒸镀区设置，所述过渡区的厚度小于所述有效蒸镀区的厚度，且小于所述空闲区的厚度。

在一个实施例中，所述过渡区的厚度与所述有效蒸镀区的厚度之比为1：(1.5～2)。

在一个实施例中，所述过渡区的厚度与所述有效蒸镀区的厚度之比为1：2。

在一个实施例中，所述过渡区的形状为矩形。

在一个实施例中，所述过渡区的宽度为0.5mm～2mm。

在一个实施例中，所述过渡区的宽度为1mm。

在一个实施例中，所述空闲区开设有多个通孔。

在一个实施例中，所述通孔的形状与所述蒸镀开口的形状相同。

在一个实施例中，所述通孔的尺寸与所述蒸镀开口的尺寸相等。

在一个实施例中，相邻两所述通孔之间的间距与相邻两所述蒸镀开口之间的间距相等。

上述掩膜板，通过在有效蒸镀区和空闲区之间设置过渡区，由于该过渡区的厚度相对于有效蒸镀区以及空闲区的厚度更小，使得过渡区的强度较小，当在掩膜板两端施加拉力时，在力的传递过程中，拉力受到的反作用逐渐减小，使得空闲区到有效蒸镀区的变形能平缓过渡，有效减小褶皱，减小有效蒸镀区的形变，使得蒸镀效果更佳，从而提高蒸镀的产品良率。

附图说明

图1为一个实施例的掩膜板的结构示意图；

图2为一个实施例的掩膜板的剖面结构示意图；