[发明专利]一种以图案化ITO作为透明导电层的电致玻璃及制作方法在审
申请号: | 201711263924.0 | 申请日: | 2017-12-05 |
公开(公告)号: | CN108008587A | 公开(公告)日: | 2018-05-08 |
发明(设计)人: | 文尚胜;陈佐艺;陈颖聪;陈浩伟 | 申请(专利权)人: | 华南理工大学 |
主分类号: | G02F1/155 | 分类号: | G02F1/155 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 李斌 |
地址: | 511458 广东省广州市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 图案 ito 作为 透明 导电 玻璃 制作方法 | ||
本发明公开了一种以图案化ITO作为透明导电层的电致玻璃及制作方法,该制作方法具体过程如下:在第一玻璃基底上镀有一层ITO层,通过光刻,显影腐蚀等步骤得到图案化的第一透明导电层,在图案化的第一透明导电层表面镀上电致变色层;在第二玻璃基底镀上ITO层,通过光刻,显影腐蚀等步骤得到图案化的第二透明导电层,在图案化的第二透明导电层表面镀上离子储存层后,在离子储存层和电致变色层之间制备电解质层,获得以图案化ITO作为透明导电层的电致变色玻璃。本发明用图案化ITO制作透明导电层,使电致变色玻璃的响应时间减少,循环寿命增长,颜色对比度增加。
技术领域
本发明涉及电致变色玻璃制作技术领域,具体涉及一种以图案化ITO作为透明导电层的电致玻璃及制作方法。
背景技术
电致变色玻璃现已成为节能生活的重要组成部分,满足建筑物节能电排的要求,具有广阔的应用前景。电致变色是指在外加电场作用下,材料在紫外、可见光或(和)近红外区域的透射率、反射率或吸收率发生稳定的可逆变化的过程,直观地表现为材料的颜色和透明度发生可逆变化的现象。具有电致变色性能的玻璃结构称为电致变色玻璃,在电场作用下通过调节光的吸收和透过,选择性地吸收或反射外界的热辐射,并阻止内部热量向外扩散,减少办公大楼和民用住宅等建筑物在夏季降温和冬季取暖而必须耗费的大量能源。同时,也起到改善自然光照程度、防窥、防眩目等作用。可减少室外遮光设施,满足现在建筑物采光和美观的需要。
电致变色玻璃的性能指标主要是光调制范围、着色效率、响应时间、循环寿命。其典型结构玻璃等透明基底材料、透明导电层、电致变色层、电解质层、离子存储层、透明导电层和玻璃等透明基底材料。透明导电层的作用是在电化学反应中为电致变色材料提供电子的导体。
电致变色玻璃运作时,在两个透明导电层之间施加一定电场,透明导电层作为导体为电致变色材料提供电子,使电致变色材料在电子运动下发生氧化还原反应,材料颜色发生变化。
电致变色玻璃一般使用ITO作为透明导电层。ITO具有很好的酸刻、光刻性能,便于细微加工,可以被刻蚀成不同的电极图案。电致变色材料的电致变色性能和发生电化学反应的表面和界面特性密切相关,图案化的ITO增大ITO电极和电致变色层接触面积,电子传输路径增多,进入电致变色层发生反应的路径增多,且由于发生反应的路径增多,电子在透明导电层的扩散阻抗和界面迁移阻抗减小,因此电子进入电致变色层时间缩短,有效地提高电致变色玻璃的电致变色性能。
ITO图案化主要包括三种方法湿法刻蚀、干法刻蚀和lift-off方法。在美国专利说明书US5702871A公开了一种湿法刻蚀图案化ITO结构(如ITO导线)的形成方法,如图1(a)至图1(d)所示包括以下步骤:(1)在第一玻璃基底10上用磁控溅射的方法镀上ITO层11。(2)在ITO层11上形成感光层12(感光性干膜和光刻胶)。感光层12要覆盖住需要进行图案化部分的ITO层11。(3)通过曝光、微影、显影等步骤使用光罩13图案化感光层12,以期形成图案化感光层12。(4)使用蚀刻的方法先将图案化感光层12的图案转移至ITO层11来形成所需要的图案化的第一ITO透明导电层15,再移除图案化感光层12。
该方案中,虽然公开了ITO图案化的制作过程,但是并未有公开将图案化ITO作为透明导电层应用至电致变色玻璃上,也并未公开整个电致玻璃的制作过程。
发明内容
本发明的目的是为了解决现有技术中的上述缺陷,提供一种以图案化ITO作为透明导电层的电致玻璃及制作方法。
根据公开的实施例,本发明的第一个目的通过以下技术方案实现:
一种以图案化ITO作为透明导电层的电致玻璃的制作方法,所述的制作方法包括下列步骤:
S1、在第一玻璃基底镀上一层ITO层,并通过光刻,显影腐蚀得到第一图案化透明导电层;
S2、在所述的第一图案化透明导电层的表面镀上电致变色层;
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