[发明专利]一种高效的蚀刻设备在审
申请号: | 201711265402.4 | 申请日: | 2017-12-05 |
公开(公告)号: | CN107833853A | 公开(公告)日: | 2018-03-23 |
发明(设计)人: | 张进元 | 申请(专利权)人: | 昆山市苏元电子集团有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;B08B3/02;B08B3/14 |
代理公司: | 苏州六一专利代理事务所(普通合伙)32314 | 代理人: | 沈陈 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高效 蚀刻 设备 | ||
1.一种高效的蚀刻设备,包括底板、位于所述底板上方的喷药装置、位于所述喷药装置左侧的支架装置、设置于所述支架装置上的电机装置、位于所述底板上方的支撑板装置、设置于所述底板上的旋转板装置、设置于所述支架装置上的喷水装置,其特征在于:所述底板上设有位于其下方的若干万向轮、位于其上方的第一回收箱、位于所述第一回收箱右侧的第一定位块、位于所述第一回收箱左侧的第二回收箱、位于所述第二回收箱左侧的第二定位块,所述喷药装置包括第一支撑杆、位于所述第一支撑杆上方的第一横板、位于所述第一横板上方的药箱、设置于所述药箱上的第一管道、设置于所述第一管道上的第一水泵、设置于所述第一管道端部的第一喷头、设置于所述第一喷头上的第一固定杆,所述支架装置包括第二支撑杆、位于所述第二支撑杆上方的第一横杆、设置于所述第一横杆上的第一滚轮、位于所述第一横杆上方的第一竖杆、设置于所述第一竖杆上的第二横杆、设置于所述第二横杆右端的第二滚轮,所述电机装置包括第三横杆、位于所述第三横杆上方的电机、设置于所述电机上的输出轴、设置于所述输出轴上的拉线、位于所述电机上方的第二固定杆、设置于所述第二固定杆上端的第三滚轮,所述支撑板装置包括支撑板、位于所述支撑板上方的框体、位于所述框体左侧的第三固定杆、位于所述第三固定杆下方的第一弹簧、位于所述支撑板下方的集中框、位于所述集中框下方的过滤网、位于所述集中框右侧的连接杆、位于所述连接杆下方的推动块,所述旋转板装置包括第三支撑杆、位于所述第三支撑杆上方的连接块、位于所述连接块上方的旋转板、位于所述第三支撑杆左侧的第二弹簧,所述喷水装置包括第四支撑杆、位于所述第四支撑杆上方的第二横板、位于所述第二横板上方的水箱、设置于所述水箱上的第二管道、设置于所述第二管道上的第二水泵、设置于所述第二管道端部的第二喷头、设置于所述第二喷头上的第四固定杆。
2.如权利要求1所述的高效的蚀刻设备,其特征在于:所述第一回收箱呈空心的长方体,所述第一定位块的下端与所述底板固定连接,所述第一定位块顶靠在所述第一回收箱的右表面上,所述第二定位块的下端与所述底板固定连接,所述第二定位块顶靠在所述第二回收箱的左表面上。
3.如权利要求2所述的高效的蚀刻设备,其特征在于:所述第一支撑杆的下端与所述底板固定连接,所述第一支撑杆的上端与所述第一横板固定连接,所述第一管道的一端与所述药箱连接,所述第一管道的另一端与所述第一喷头连接,所述第一固定杆的左端与所述第一喷头固定连接,所述第一固定杆的右端与所述第一横板固定连接。
4.如权利要求3所述的高效的蚀刻设备,其特征在于:所述第二支撑杆的下端与所述底板固定连接,所述第二支撑杆的上端与所述第一横杆固定连接,所述第一横杆的右端设有第一凹槽,所述第一滚轮设有两个,所述第一滚轮呈圆柱体,所述第一滚轮收容于所述第一凹槽内且与所述第一横杆枢轴连接,所述第一竖杆的下端与所述第一横杆固定连接,所述第一竖杆上设有贯穿其左右表面的第一通孔,所述第二横杆的左端与所述第一竖杆的右表面固定连接,所述第二横杆的右端设有第二凹槽,所述第二滚轮呈圆柱体,所述第二滚轮收容于所述第二凹槽内且与所述第二横杆枢轴连接。
5.如权利要求4所述的高效的蚀刻设备,其特征在于:所述第三横杆的右端与所述第二支撑杆固定连接,所述电机与所述第三横杆固定连接,所述输出轴呈圆柱体,所述输出轴的一端与所述电机连接,所述第二固定杆的下端与所述第二支撑杆的侧面固定连接,所述第二固定杆的上端设有第三凹槽,所述第三滚轮呈圆柱体,所述第三滚轮收容于所述第三凹槽内且与所述第二固定杆枢轴连接,所述拉线的下端与所述输出轴固定连接,所述拉线的上端顶靠在所述第三滚轮上且穿过所述第一通孔。
6.如权利要求5所述的高效的蚀刻设备,其特征在于:所述支撑板上设有贯穿其上下表面的第二通孔,所述框体呈空心的长方体,所述框体的下表面与所述支撑板的上表面固定连接,所述第三固定杆的右端与所述框体的左表面固定连接,所述第三固定杆的左端处于所述第一滚轮及第二滚轮之间,所述第一滚轮顶靠在所述第三固定杆的下表面上,所述第二滚轮顶靠在所述第三固定杆的上表面上,所述拉线的上端与所述第三固定杆的左端固定连接,所述第一弹簧的右端与所述支撑板的左端固定连接,所述第一弹簧的左端与所述第一横杆的右端固定连接。
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