[发明专利]一种高效的蚀刻设备在审

专利信息
申请号: 201711265402.4 申请日: 2017-12-05
公开(公告)号: CN107833853A 公开(公告)日: 2018-03-23
发明(设计)人: 张进元 申请(专利权)人: 昆山市苏元电子集团有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;B08B3/02;B08B3/14
代理公司: 苏州六一专利代理事务所(普通合伙)32314 代理人: 沈陈
地址: 215000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 高效 蚀刻 设备
【说明书】:

技术领域

发明涉及蚀刻技术领域,尤其是涉及一种高效的蚀刻设备。

背景技术

现有的蚀刻机上设有一喷嘴,以便将化学药液喷到需要蚀刻的物料上,从而达到对物料的蚀刻,然后再对物料喷水,以便将其清洗干净。然而,该种方式往往会将喷过后的化学药液与水混合在一起,影响对化学药液的回收,造成资源的浪费。

因此,有必要提供一种新的技术方案以克服上述缺陷。

发明内容

本发明的目的在于提供一种可有效解决上述技术问题的高效的蚀刻设备。

为达到本发明之目的,采用如下技术方案:

一种高效的蚀刻设备,包括底板、位于所述底板上方的喷药装置、位于所述喷药装置左侧的支架装置、设置于所述支架装置上的电机装置、位于所述底板上方的支撑板装置、设置于所述底板上的旋转板装置、设置于所述支架装置上的喷水装置,所述底板上设有位于其下方的若干万向轮、位于其上方的第一回收箱、位于所述第一回收箱右侧的第一定位块、位于所述第一回收箱左侧的第二回收箱、位于所述第二回收箱左侧的第二定位块,所述喷药装置包括第一支撑杆、位于所述第一支撑杆上方的第一横板、位于所述第一横板上方的药箱、设置于所述药箱上的第一管道、设置于所述第一管道上的第一水泵、设置于所述第一管道端部的第一喷头、设置于所述第一喷头上的第一固定杆,所述支架装置包括第二支撑杆、位于所述第二支撑杆上方的第一横杆、设置于所述第一横杆上的第一滚轮、位于所述第一横杆上方的第一竖杆、设置于所述第一竖杆上的第二横杆、设置于所述第二横杆右端的第二滚轮,所述电机装置包括第三横杆、位于所述第三横杆上方的电机、设置于所述电机上的输出轴、设置于所述输出轴上的拉线、位于所述电机上方的第二固定杆、设置于所述第二固定杆上端的第三滚轮,所述支撑板装置包括支撑板、位于所述支撑板上方的框体、位于所述框体左侧的第三固定杆、位于所述第三固定杆下方的第一弹簧、位于所述支撑板下方的集中框、位于所述集中框下方的过滤网、位于所述集中框右侧的连接杆、位于所述连接杆下方的推动块,所述旋转板装置包括第三支撑杆、位于所述第三支撑杆上方的连接块、位于所述连接块上方的旋转板、位于所述第三支撑杆左侧的第二弹簧,所述喷水装置包括第四支撑杆、位于所述第四支撑杆上方的第二横板、位于所述第二横板上方的水箱、设置于所述水箱上的第二管道、设置于所述第二管道上的第二水泵、设置于所述第二管道端部的第二喷头、设置于所述第二喷头上的第四固定杆。

所述第一回收箱呈空心的长方体,所述第一定位块的下端与所述底板固定连接,所述第一定位块顶靠在所述第一回收箱的右表面上,所述第二定位块的下端与所述底板固定连接,所述第二定位块顶靠在所述第二回收箱的左表面上。

所述第一支撑杆的下端与所述底板固定连接,所述第一支撑杆的上端与所述第一横板固定连接,所述第一管道的一端与所述药箱连接,所述第一管道的另一端与所述第一喷头连接,所述第一固定杆的左端与所述第一喷头固定连接,所述第一固定杆的右端与所述第一横板固定连接。

所述第二支撑杆的下端与所述底板固定连接,所述第二支撑杆的上端与所述第一横杆固定连接,所述第一横杆的右端设有第一凹槽,所述第一滚轮设有两个,所述第一滚轮呈圆柱体,所述第一滚轮收容于所述第一凹槽内且与所述第一横杆枢轴连接,所述第一竖杆的下端与所述第一横杆固定连接,所述第一竖杆上设有贯穿其左右表面的第一通孔,所述第二横杆的左端与所述第一竖杆的右表面固定连接,所述第二横杆的右端设有第二凹槽,所述第二滚轮呈圆柱体,所述第二滚轮收容于所述第二凹槽内且与所述第二横杆枢轴连接。

所述第三横杆的右端与所述第二支撑杆固定连接,所述电机与所述第三横杆固定连接,所述输出轴呈圆柱体,所述输出轴的一端与所述电机连接,所述第二固定杆的下端与所述第二支撑杆的侧面固定连接,所述第二固定杆的上端设有第三凹槽,所述第三滚轮呈圆柱体,所述第三滚轮收容于所述第三凹槽内且与所述第二固定杆枢轴连接,所述拉线的下端与所述输出轴固定连接,所述拉线的上端顶靠在所述第三滚轮上且穿过所述第一通孔。

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