[发明专利]一种光学薄片器件上盘方法在审

专利信息
申请号: 201711272985.3 申请日: 2017-12-06
公开(公告)号: CN108068007A 公开(公告)日: 2018-05-25
发明(设计)人: 徐斌 申请(专利权)人: 江苏师范大学
主分类号: B24B37/07 分类号: B24B37/07;B24B37/34
代理公司: 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 代理人: 楼高潮
地址: 221116 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 光学薄片 上表面 上盘 高低不平 产品合格率 平面度误差 原材料成本 方法使用 器件表面 研磨加工 粘接材料 形变 低熔点 毛玻璃 热熔胶 热应力 收缩力 毛坯 下盘 加工 节约
【权利要求书】:

1.一种光学薄片器件上盘方法,其特征在于,包括步骤:

S1:根据铸铁粘盘的规格选用与所述铸铁粘盘盘面同样大小的毛玻璃平板并选用熔点在50摄氏度以下的热熔胶;

S2;通过加热将光学薄片器件的温度提升至所述热熔胶的熔点;

S3:通过涂抹所述热熔胶至所述光学薄片器件的一面上,在所述光学薄片器件的一面上形成厚度一致的热熔胶薄层;

S4:以互不相接的方式将玻璃垫片和所述光学薄片器件平铺在水平放置的所述毛玻璃平板上,并使所述玻璃垫片在所述毛玻璃平板的边缘且所述光学薄片器件无热熔胶的一面与所述毛玻璃平板相贴;

S5:通过加热将所述铸铁粘盘的温度提升至所述热熔胶的熔点;

S6:将所述铸铁粘盘放置在与所述毛玻璃平板水平对应的位置并下压熔化所述热熔胶薄层,当所述铸铁粘盘与所述玻璃垫片相接时,停止下压;

S7:通过冷却铸铁粘盘使所述热熔胶薄层凝固,所述光学薄片器件固定在所述铸铁粘盘上。

2.根据权利要求1所述的一种光学薄片器件上盘方法,其特征在于,所述步骤S1:根据铸铁粘盘的规格选用与所述铸铁粘盘盘面同样大小的毛玻璃平板和熔点在50摄氏度以下的热熔胶中,所述毛玻璃平板的平整度在+0.002mm以内。

3.根据权利要求1所述的一种光学薄片器件上盘方法,其特征在于,所述步骤S2:通过加热将光学薄片器件的温度提升至所述热熔胶的熔点中,通过将所述光学薄片器件平铺在平板型电加热器上进行加热。

4.根据权利要求3所述的一种光学薄片器件上盘方法,其特征在于,所述光学薄片器件和所述平板型电加热器之间垫有2层纸片。

5.根据权利要求1所述的一种光学薄片器件上盘方法,其特征在于,所述步骤S3:通过涂抹所述热熔胶至所述光学薄片器件的一面上,在所述光学薄片器件的一面上形成厚度一致的热熔胶薄层中,所述热熔胶薄层的厚度为1.5mm。

6.根据权利要求1所述的一种光学薄片器件上盘方法,其特征在于,所述步骤S3:通过涂抹所述热熔胶至所述光学薄片器件的一面上,在所述光学薄片器件的一面上形成厚度一致的热熔胶薄层中,带有所述热熔胶薄层的光学薄片器件以胶面向上的方式平摊在周转盘中待用。

7.根据权利要求1所述的一种光学薄片器件上盘方法,其特征在于,所述步骤S4:以互不相接的方式将玻璃垫片和所述光学薄片器件平铺在水平放置的所述毛玻璃平板上,并使所述玻璃垫片在所述毛玻璃平板的边缘且所述光学薄片器件无热熔胶的一面与所述毛玻璃平板相贴中,所述玻璃垫片的厚度为1.2mm。

8.根据权利要求1所述的一种光学薄片器件上盘方法,其特征在于,所述步骤S4:以互不相接的方式将玻璃垫片和所述光学薄片器件平铺在水平放置的所述毛玻璃平板上,并使所述玻璃垫片在所述毛玻璃平板的边缘且所述光学薄片器件无热熔胶的一面与所述毛玻璃平板相贴中,所述玻璃垫片的数量为3个并以水平相隔120度的方式摆放在所述毛玻璃平板的边缘。

9.根据权利要求1所述的一种光学薄片器件上盘方法,其特征在于,所述步骤S4:以互不相接的方式将玻璃垫片和所述光学薄片器件平铺在水平放置的所述毛玻璃平板上,并使所述玻璃垫片在所述毛玻璃平板的边缘且所述光学薄片器件无热熔胶的一面与所述毛玻璃平板相贴中,各所述光学薄片器件边缘之间的间隔在2mm以上。

10.根据权利要求1所述的一种光学薄片器件上盘方法,其特征在于,

所述步骤S4:以互不相接的方式将所述玻璃垫片和所述光学薄片器件平铺在水平放置的所述毛玻璃平板上,并使所述玻璃垫片在所述毛玻璃平板的边缘且所述光学薄片器件无热熔胶的一面与所述毛玻璃平板相贴中,所述毛玻璃平板上涂有凡士林油;

所述步骤S7:通过冷却铸铁粘盘使所述热熔胶薄层凝固,所述光学薄片器件粘在所述铸铁粘盘上中,通过水平拉脱分离所述粘在所述铸铁粘盘上的光学薄片器件与所述毛玻璃平板。

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