[发明专利]一种新型石墨舟在审
申请号: | 201711274552.1 | 申请日: | 2017-12-06 |
公开(公告)号: | CN108165955A | 公开(公告)日: | 2018-06-15 |
发明(设计)人: | 王光涛 | 申请(专利权)人: | 中建材浚鑫科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458;H01L21/673;H01L31/18 |
代理公司: | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人: | 姚姣阳 |
地址: | 214443 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石墨舟 叶片 卡点 硅片 新型石墨 有效地减少 色差 固定硅片 平行设置 重新设计 插片 镀膜 返工 卡住 翘曲 受力 合格率 报警 | ||
1.一种新型石墨舟,其特征在于:所述石墨舟包括至少8片石墨舟叶片,分别为第一石墨舟叶片(100)、第二石墨舟叶片、第三石墨舟叶片、第四石墨舟叶片、第五石墨舟叶片、第六石墨舟叶片、第七石墨舟叶片和第八石墨舟叶片,所述第一石墨舟叶片和第八石墨舟叶片均为最外侧石墨舟叶片,每个所述石墨舟叶片相互平行设置,每个所述石墨舟叶片上对应放置硅片的位置镂空,所述镂空形状为圆角正方形、方形、网状形,每个所述石墨舟叶片上均设置有用于固定硅片的第一卡点(1)、第二卡点(2)和第三卡点(3),硅片通过所述第一卡点(1)、第二卡点(2)和第三卡点(3)固定于每个石墨舟叶片上,所述第一卡点设置于镂空形状的左上侧,第二卡点设置于镂空形状的左侧 ,第三卡点设置于镂空形状的下方。
2.根据权利要求1所述的一种新型石墨舟,其特征在于:所述镂空形状为圆角正方形,第一卡点(1)距离镂空圆角正方形相应边垂直距离为Xmm,第二卡点(2)距离镂空圆角正方形相应边垂直距离为Ymm,第二卡点侧下方卡点位置以镂空的圆角正方形侧边为平行方向,平移至叶片横向中轴位置,第三卡点(3)距离镂空圆角正方形相应边垂直距离为Zmm,第一卡点(1)距离镂空圆角正方形相应边水平距离为Amm,第二卡点(2)距离镂空圆角正方形相应边水平距离为Bmm,第三卡点(3)距离镂空圆角正方形相应边水平距离为Cmm。
3.根据权利要求1所述的一种新型石墨舟,其特征在于:所述镂空的形状与被放置硅片的形状、大小相匹配,每个石墨舟叶片被设计成可放置六片156×156规格硅片。
4.根据权利要求1所述的一种新型石墨舟,其特征在于:每个所述石墨舟叶片的形状、大小均一致。
5.根据权利要求1所述的一种新型石墨舟,其特征在于:每个所述石墨舟叶片之间的间距相同。
6.根据权利要求1所述的一种新型石墨舟,其特征在于:所述第一卡点(1)、第二卡点(2)和第三卡点(3)为石墨材质。
7.根据权利要求1所述的一种新型石墨舟,其特征在于:每个所述卡点为分离性可更换元件。
8.根据权利要求7所述的一种新型石墨舟,其特征在于:每个所述卡点均包括紧固部和两个突出部,两个突起部对称分布在紧固部的两侧。
9.根据权利要求8所述的一种新型石墨舟,其特征在于:所述紧固部为圆柱形结构,突出部为圆锥台结构,所述圆锥台的外径为6.0mm,内径为4.8mm,内倾角度为56°,高度为1.2mm。
10.根据权利要求1所述的一种新型石墨舟,其特征在于:所述石墨舟为用于太阳能电池硅片生产中所使用的石墨舟。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的