[发明专利]一种新型石墨舟

说明书

本发明揭示了一种新型石墨舟，该石墨舟包括至少8片石墨舟叶片，分别为第一石墨舟叶片、第二石墨舟叶片、第三石墨舟叶片、第四石墨舟叶片、第五石墨舟叶片、第六石墨舟叶片、第七石墨舟叶片和第八石墨舟叶片，第一石墨舟叶片和第八石墨舟叶片均为最外侧石墨舟叶片，每个石墨舟叶片相互平行设置，每个所述石墨舟叶片上均设置有用于固定硅片的第一卡点、第二卡点和第三卡点，硅片通过所述第一卡点、第二卡点和第三卡点固定于每个石墨舟叶片上。本技术方案可以有效地减少硅片在镀膜时的翘曲，从而减少色差、返工和报警，提高了合格率和产量，重新设计了卡点位置，卡点可更好的卡住硅片，使硅片在舟中的受力更均匀，卡点位置可兼顾插片的可行性。

技术领域

本发明涉及太阳能电池板制造技术领域，更具体地说，涉及一种新型石墨舟。

背景技术

PECVD：等离子加强化学气相沉积法，即利用SIH4和NH3在等离子体辉光放电状态下，在硅片绒面形成一层浅蓝色氮化硅减反射膜。因石墨具有良好的导电性和稳定性，在PECVD中硅片进炉用的载具为石墨舟。在太阳能和半导体生产过程中，在进行镀膜时，将未镀膜的硅片插入PECVD镀膜设备的载片器上，通常载片器由石墨舟来实现，即将未镀膜的硅片插入石墨舟，然后，将石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备腔体内，采用PECVD工艺进行放电镀膜，镀膜结束后，取出石墨舟，将硅片从石墨舟上卸取下来。硅片放置在石墨舟上需要卡点卡住。因石墨舟是消耗型物品，因此石墨舟设计多采用多叶片组合式设计。石墨舟卡点不但应兼顾卡紧硅片，还要注意组装石墨舟的紧固部件（陶瓷棒和陶瓷圈）位置对插片的影响。

现在的石墨舟叶片的卡点设计如图1所示，2号卡点位置较低，硅片在舟上时，右上角位置缺乏固定，由于高温、应力等因素，容易翘曲。现在的硅电池PECVD技术又存在小炉管进大舟的情况，导致石墨舟的叶片间距变小。综合以上因素，硅片在炉内的翘曲很容易造成色差，严重的会导致射频报警出炉，影响合格率和产量。

发明内容

本发明的目的就是为了解决现有技术中存在的上述问题，提供一种新型石墨舟。

本发明的目的将通过以下技术方案得以实现：一种新型石墨舟，所述石墨舟包括至少8片石墨舟叶片，分别为第一石墨舟叶片100、第二石墨舟叶片、第三石墨舟叶片、第四石墨舟叶片、第五石墨舟叶片、第六石墨舟叶片、第七石墨舟叶片和第八石墨舟叶片，所述第一石墨舟叶片和第八石墨舟叶片均为最外侧石墨舟叶片，每个所述石墨舟叶片相互平行设置，每个所述石墨舟叶片上对应放置硅片的位置镂空，所述镂空形状为圆角正方形、方形、网状形，每个所述石墨舟叶片上均设置有用于固定硅片的第一卡点、第二卡点和第三卡点，硅片通过所述第一卡点、第二卡点和第三卡点固定于每个石墨舟叶片上，所述第一卡点设置于镂空形状的左上侧，第二卡点设置于镂空形状的左侧，第三卡点设置于镂空形状的下方。

优选地，所述镂空形状为圆角正方形，第一卡点距离镂空圆角正方形相应边垂直距离为Xmm，第二卡点距离镂空圆角正方形相应边垂直距离为Ymm，第二卡点侧下方卡点位置以镂空的圆角正方形侧边为平行方向，平移至叶片横向中轴位置，第三卡点距离镂空圆角正方形相应边垂直距离为Zmm，第一卡点距离镂空圆角正方形相应边水平距离为Amm，第二卡点距离镂空圆角正方形相应边水平距离为Bmm，第三卡点距离镂空圆角正方形相应边水平距离为Cmm。

优选地，所述镂空的形状与被放置硅片的形状、大小相匹配，每个石墨舟叶片被设计成可放置六片156×156规格硅片。

优选地，每个所述石墨舟叶片的形状、大小均一致。

优选地，每个所述石墨舟叶片之间的间距相同。

优选地，所述第一卡点、第二卡点和第三卡点为石墨材质。

优选地，每个所述卡点为分离性可更换元件。

优选地，每个所述卡点均包括紧固部和两个突出部，两个突起部对称分布在紧固部的两侧。