[发明专利]一种集成电路测试数据的筛选方法及装置

权利要求书

1.一种集成电路测试数据的筛选方法，其特征在于，所述集成电路数据为多个不同测试参数组成的总数据，每片集成电路包括多个相同的电路结构，所述集成电路测试数据的筛选方法包括：

获取集成电路测试数据，所述集成电路测试数据包括多个测试参数的测试数据，每个测试参数的测试数据包括多批次集成电路测试完成后得到的数据，每批次集成电路测试数据包括多个片集成电路测试完成后得到的片集成电路测试数据，每个片集成电路测试数据包括多个电路结构测试完成后得到的子集成电路测试数据；

计算每个测试参数同批次数据的最大值与最小值之间的差值，每个所述测试参数得到一个差值；

计算每个测试参数同批次的每片集成电路测试数据的平均值，每个所述片集成电路测试数据得到一个片平均值；

计算每个测试参数同批次集成电路测试数据的平均值，每批次集成电路测数据得到一个批平均值；

计算同批次的每个片集成电路测试数据的片平均值与该测试参数的批平均值的片相差百分比，每个所述片集成电路测试数据对应一个片相差百分比；

计算所有测试参数的总平均值，每个所述测试参数对应一个总平均值；

计算每个所述测试参数的批平均值与该测试参数的总平均值的批相差百分比，每批次集成电路测试数据对应一个批相差百分比；

判断每个所述测试参数的片相差百分比是否大于百分比阈值以及每个所述测试参数的批相差百分比是否大于百分比阈值；

若所述测试参数的片相差百分比大于百分比阈值，则将该片相差百分比对应的测试参数片号进行标记，和/或，若所述测试参数的批相差百分比大于百分比阈值，则将该批相差百分比对应的测试批号进行标记；

其中，所述集成电路测试数据的筛选方法还包括在将该片相差百分比对应的测试参数片号进行标记后进行的：对该测试数据片号对应的所有集成电路测试数据进行分析，以查找误差来源。

2.根据权利要求1所述的集成电路测试数据的筛选方法，其特征在于，所述集成电路测试数据的筛选方法还包括在将该批相差百分比对应的测试参数批号进行标记后进行的：对该测试数据批号所对应的所有集成电路测试数据进行分析，以查找误差来源。

3.根据权利要求1或2所述的集成电路测试数据的筛选方法，其特征在于，所述集成电路测试数据的筛选方法还包括：

若每个所述测试参数的片相差百分比不大于百分比阈值，且每个测试参数的批相差百分比不大于百分比阈值，则判定所述集成电路测试数据没有误差。

4.根据权利要求1所述的集成电路测试数据的筛选方法，其特征在于，所述百分比阈值为2%。

5.根据权利要求1所述的集成电路测试数据的筛选方法，其特征在于，将至多四个所述子集成电路测试数据划分为一组，一组数据即为一片数据。