[发明专利]一种复合透明导电膜在审
| 申请号： | 201711283048.8 | 申请日： | 2017-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN108074991A | 公开（公告）日： | 2018-05-25 |
| 发明（设计）人： | 刘宏燕;颜悦;望咏林;伍建华 | 申请（专利权）人： | 中国航发北京航空材料研究院 |
| 主分类号： | H01L31/0216 | 分类号： | H01L31/0216;H01B5/14 |
| 代理公司： | 中国航空专利中心 11008 | 代理人： | 仉宇 |
| 地址： | 100095 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 复合透明导电膜 金属氧化物层 导电层 减反射 银合金 电导率 耐环境性能 防紫外线 导电膜 隔热的 透过率 基底 透明 | ||
1.一种复合透明导电膜，包括透明基底层、两个保护性减反射金属氧化物层以及银合金导电层，且形成四层结构；
从上至下依次为：上保护性减反射金属氧化物层、银合金导电层、下保护性减反射金属氧化物层、透明基底层。
2.如权利要求1所述的复合透明导电膜，其特征在于：上述四层结构是通过磁控溅射的方法将保护性减反射金属氧化物和银分层溅射到透明基底上形成的。
3.如权利要求1或2所述的复合透明导电膜，其特征在于：所述四层结构的可见光透过率至少达到88％。
4.如权利要求1所述的复合透明导电膜，其特征在于：上保护性减反射金属氧化物层、银合金导电层以及下保护性减反射金属氧化物层整体的方块电阻低于10欧姆。
5.如权利要求1所述的复合透明导电膜，其特征在于：透明基底层材质为柔性聚对苯二甲酸乙二醇酯、有机玻璃或无机玻璃。
6.如权利要求1所述的复合透明导电膜，其特征在于：保护性减反射氧化物层材质为五氧化二铌(Nb2O5)、二氧化钛(TiO2)、氧化钨(WO3)、氧化铟锡(ITO)、氧化锌(ZnO)、氧化镓锌(GZO)或氧化铟锌(IZO)。
7.如权利要求1或6所述的复合透明导电膜，其特征在于：两个保护性减反射金属氧化物层的厚度均为30～50纳米。
8.如权利要求1或2所述的复合透明导电膜，其特征在于：银合金导电层材质为铜银合金或铝银合金的氧化物或氮化物，其分子式为Ag
9.如权利要求1或2所述的复合透明导电膜，其特征在于：所述金属导电层的厚度为6～15纳米。
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H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
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