[发明专利]滚筒注浆成型制备氧化物陶瓷靶材的方法和装置

权利要求书

1.一种滚筒注浆成型制备氧化物陶瓷靶材的方法，其特征在于，氧化物浆料流动分散于圆筒形模具的内壁上，在所述圆筒形模具的转动过程中形成氧化物陶瓷靶材坯体。

2.根据权利要求1所述的滚筒注浆成型制备氧化物陶瓷靶材的方法，其特征在于，在圆筒形模具的转动过程中，氧化物浆料逐渐进入所述圆筒形模具内。

3.根据权利要求1所述的滚筒注浆成型制备氧化物陶瓷靶材的方法，其特征在于，所述圆筒形模具由具有强吸水特性的石膏制备而成。

4.根据权利要求1所述的滚筒注浆成型制备氧化物陶瓷靶材的方法，其特征在于，所述氧化物浆料为低粘度、流动性好的氧化物浆料。

5.根据权利要求1所述的滚筒注浆成型制备氧化物陶瓷靶材的方法，其特征在于，所述圆筒形模具的转动过程以其水平设置的中心轴为转轴进行。

6.根据权利要求1所述的滚筒注浆成型制备氧化物陶瓷靶材的方法，其特征在于，所述转动过程为匀速运动。

7.根据权利要求1所述的滚筒注浆成型制备氧化物陶瓷靶材的方法，其特征在于，所述圆筒形模具的两端设置有可以拆卸的封口部件。

8.根据权利要求7所述的滚筒注浆成型制备氧化物陶瓷靶材的方法，其特征在于，所述封口部件为表面光滑的圆形板材，所述板材的材质为铝塑、高分子塑料、金属。

9.根据权利要求1所述的滚筒注浆成型制备氧化物陶瓷靶材的方法，其特征在于，该方法还包括氧化物靶材坯体从圆筒形模具中取出后在恒温恒湿环境中干燥的过程。

10.根据权利要求1所述的滚筒注浆成型制备氧化物陶瓷靶材的方法，其特征在于，所述圆筒形模具的转动速度为80～180赫兹，所述转动过程持续10～24小时。

11.一种滚筒注浆成型制备氧化物陶瓷靶材的装置，其特征在于，该装置包括：

装置本体，该装置本体呈圆筒形；

设置于装置本体两端的封口部件，至少一个封口部件上设置有氧化物浆料进入的进料开口；

且，所述封口部件与所述本体可拆卸密封连接。

12.根据权利要求11所述的装置，其特征在于，所述装置本体包括：

吸水性石膏制备成的模具组件；

设置在所述模具组件外部的模具加强组件。