[发明专利]滚筒注浆成型制备氧化物陶瓷靶材的方法和装置

说明书

本发明公开了一种滚筒注浆成型制备氧化物陶瓷靶材的方法和装置。该方法中，氧化物浆料流动分散于圆筒形模具的内壁上，在所述圆筒形模具的转动过程中形成氧化物靶材坯体。可以设置在圆筒形模具的转动过程中，氧化物浆料逐渐进入圆筒形模具内，该圆筒形模具由具有强吸水特性的石膏做成，氧化物浆料为低粘度、流动性好的氧化物浆料。该装置包括圆筒形的本体和设置于本体两端的封口部件，至少一个封口部件上设置有氧化物浆料进入的开口，且封口部件与本体可拆卸密封连接。方法简单易行，能够制备得到密度高的靶材坯体，装置简单，便于制备操作，可以制备的坯体尺寸可选范围大，成本低。

技术领域

本实用发明属于氧化物陶瓷材料制备领域，具体涉及一种滚筒注浆成型制备氧化物陶瓷靶材的方法和装置。

背景技术

氧化物陶瓷靶材，主要应用于溅射镀膜成透明导电膜(Transparent conductiveoxide，简称TCO)。近年来,随着液晶显示、触控面板、有机发光显示、太阳能电池等的发展,使得透明导电薄膜成为关键性材料之一。

目前，氧化物管状靶坯的制备成型主要是采用低固相体积含量的浆料来喷雾造粒，然后用筒状模具模压、等静压成型得到粗坯，然后再在车床上加工制成筒状靶坯。且所使用的模具制作复杂,不易操作,不易于制备大尺寸坯体靶材坯体。

发明内容

为了至少解决以上提到现有技术存在的技术问题之一，本发明公开了一种滚筒注浆成型制备氧化物陶瓷靶材的方法，该方法将氧化浆料流动分散于圆筒形模具的内壁上，在圆筒形模具的转动过程中形成氧化物靶材坯体。

作为本发明可选实施例，滚筒注浆成型制备氧化物陶瓷靶材的方法中，可以设置在圆筒形模具的转动过程中，氧化物浆料逐渐进入圆筒形模具内，制备氧化物陶瓷靶材坯体。

作为本发明可选实施例，滚筒注浆成型制备氧化物陶瓷靶材的方法中，圆筒形模具可设置由具有强吸水特性的石膏制备而成。

作为本发明可选实施例，滚筒注浆成型制备氧化物陶瓷靶材的方法中，氧化物浆料可以选用低粘度、流动性好的氧化物浆料。

作为本发明公开可选实施例，滚筒注浆成型制备氧化物陶瓷靶材的方法中，圆筒形模具的转动过程可以设置为以其水平设置的中心轴为转轴进行。

作为本发明公开可选实施例，滚筒注浆成型制备氧化物陶瓷靶材的方法中，滚筒的转动过程可以设置为匀速运动。

作为本发明公开可选实施例，滚筒注浆成型制备氧化物陶瓷靶材的方法中，圆筒形模具的两端设置有可拆卸的封口部件。

进一步，作为本发明公开较为优选实施例，滚筒注浆成型制备氧化物陶瓷靶材的方法中，封口部件可以设置为表面光滑的圆形板材，例如，板材的材质可选为铝塑、高分子塑料、金属。

作为本发明公开可选实施例，作为滚筒注浆成型制备氧化物陶瓷靶材的方法，该方法还可以包括从圆筒形模具中取出氧化物靶材坯体后在恒温恒湿环境中干燥的过程。

作为本发明公开可选实施例，滚筒注浆成型制备氧化物陶瓷靶材的方法中，圆筒形模具的转动可以设置为速度为80～180赫兹，转动过程持续时间可以设置为10～24小时。

本发明还公开了一种滚筒注浆成型制备氧化物陶瓷靶材的装置，该装置可以包括圆筒形的装置本体和设置于装置本体两端的封口部件，其中至少一个封口部件上设置有氧化物浆料进入的进料开口；而且，所述封口部件与所述装置本体可拆卸密封连接。

进一步，作为本发明公开较为优选实施例，滚筒注浆成型制备氧化物陶瓷靶材的装置中，圆筒形装置本体包括由吸水性石膏制备成的模具组件和设置在模具组件外部的模具加强组件。

本发明公开的滚筒注浆成型制备氧化物陶瓷靶材的方法简单易行，能够制备得到密度高的靶材坯体，装置简单，便于制备操作，可以制备的坯体尺寸可选范围大，成本低。