[发明专利]红外线感测元件及其制造方法

权利要求书

1.一种红外线感测元件，其特征在于，包括：

基板；

红外线吸收层，形成于该基板上且具有一感测面；以及

孔槽，从该红外线吸收层的该感测面往该基板的方向延伸，该孔槽包括第一槽及第二槽，该第一槽从该感测面延伸至该第二槽，该第二槽从该第一槽往该基板的方向延伸，且该第一槽的直径与该第二槽的直径相异。

2.如权利要求1所述的红外线感测元件，还包括：

热导层，形成在该孔槽的壁面上。

3.如权利要求1所述的红外线感测元件，包括多个该孔槽。

4.如权利要求1所述的红外线感测元件，其中该第一槽的直径大于该第二槽的直径。

5.如权利要求1所述的红外线感测元件，还包括：

热导层，形成在该第一槽的底壁及该第二槽的底壁。

6.如权利要求1所述的红外线感测元件，其中该基板具有空腔，该空腔从该基板的上表面往该基板内部延伸。

7.如权利要求6所述的红外线感测元件，其中该红外线吸收层具有贯穿部，该贯穿部从该感测面延伸至该空腔且围绕该孔槽。

8.如权利要求1所述的红外线感测元件，还包括：

热电元件，形成在该基板上且该热电元件的一端邻近该孔槽。

9.如权利要求8所述的红外线感测元件，其中该热电元件包括：

第一热敏线，形成在该基板上，且该第一热敏线的一端邻近该孔槽；

第二热敏线，形成在该基板上，且该第二热敏线的一端邻近该孔槽；以及

其中，该红外线感测元件包括一连接件，该连接件形成在该红外线吸收层中，且连接该第一热敏线的该端与该第二热敏线的该端。

10.一种红外线感测元件的制造方法，其特征在于，包括：

提供一基板及一红外线吸收层，其中该红外线吸收层形成在该基板上，该红外线吸收层具有一感测面；以及

形成一孔槽，该孔槽从该红外线吸收层的该感测面往该基板的方向延伸，

其中，该孔槽包括第一槽及第二槽，该第一槽从该感测面延伸至该第二槽，该第二槽从该第一槽往该基板的方向延伸，且该第一槽的直径与该第二槽的直径相异。

11.如权利要求10所述的制造方法，还包括：

形成一贯穿部，该贯穿部从该感测面延伸至该基板且围绕该孔槽。

12.如权利要求10所述的制造方法，还包括：

形成一空腔，该空腔从该基板的上表面往该基板内部延伸。

13.如权利要求10所述的制造方法，还包括：

形成一贯穿部，该贯穿部从该感测面延伸至该基板；以及

通过该贯穿部形成一空腔，该空腔从该贯穿部往该基板内部延伸。