[发明专利]红外线感测元件及其制造方法

说明书

本发明公开一种红外线感测元件及其制造方法。该红外线感测元件包括基板、红外线吸收层及孔槽。红外线吸收层形成于基板上且具有感测面。孔槽从红外线吸收层的感测面往基板的方向延伸。

技术领域

本发明涉及一种红外线感测元件及其制造方法，且特别是涉及一种具有孔槽的红外线感测元件及其制造方法。

背景技术

传统的红外线感测元件可收集被测物辐射出的红外线能量并将能量聚集于检测器上。检测器把能量转化为电信号，电信号经放大并显示为温度读数。一般来说，检测器包括感热层及红外线吸收层。红外光吸收层整个且完整地覆盖在感热层上。红外线吸收层吸收被测物辐射出的红外线能量。当感热层感测到红外线能量，将红外线能量(热量)转换成电信号。处理器依据此电信号计算被测物的温度值。

然而，这样的层结构已经无法满足现代对更低反应时间及更低讯噪比的要求。因此，本技术领域业者有必要提出一种新的且具有更低反应时间及更低讯噪比的要求的红外线感测元件。

发明内容

因此，本发明的目的在于提出一种红外线感测元件及其制造方法，可改善前述现有问题。

为达上述目的，根据本发明的一实施例，提出一种红外线感测元件。红外线感测元件包括一基板、一红外线吸收层及一孔槽。红外线吸收层形成于基板上且具有一感测面。孔槽从红外线吸收层的感测面往基板的方向延伸。

根据本发明的另一实施例，提出一种红外线感测元件的制造方法。制造方法包括以下步骤。提供一基板及一红外线吸收层，其中红外线吸收层形成在基板上，红外线吸收层具有一感测面；以及形成一孔槽，孔槽从红外线吸收层的感测面往基板的方向延伸。

为了对本发明的上述及其他方面有更佳的了解，下文特举实施例，并配合所附的附图详细说明如下：

附图说明

图1A为本发明一实施例的红外线感测元件的示意图；

图1B为图1A的红外线感测元件的局部俯视图；

图1C为图1B的红外线感测元件沿方向1C-1C’的剖视图；

图2为本发明另一实施例的孔槽的示意图；

图3为本发明另一实施例的孔槽的示意图；

图4A为本发明一实施例的红外线感测元件的示意图；

图4B为图4A的红外线感测元件的局部俯视图；

图4C为图4B的红外线感测元件沿方向4C-4C’的剖视图；

图5A～图5C为图1C的红外线感测元件的制造过程图。

符号说明

100、200：红外线感测元件

110：基板

110a：空腔

110u：上表面

120：红外线吸收层

120a：贯穿部

120u：感测面

130a、230a、330a：孔槽

130a1：第一槽

130a2：第二槽

130b1、130b2：底壁

130w1、130w2、230w：侧壁

140：热导层

141：第一子热导层

142：第二子热导层