[发明专利]一种含有纤维素材料的干膜光阻剂

权利要求书

1.一种含有纤维素材料的干膜光阻剂，其特征在于，包括以下重量份数的组分：

2.根据权利要求1所述的含有纤维素材料的干膜光阻剂，其特征在于，包括以下重量份数的组分：

3.根据权利要求1或2所述的含有纤维素材料的干膜光阻剂，其特征在于，所述含有羧基官能团的高分子粘合剂是由一个或多个乙烯类单体和一个或多个α,β-乙烯类不饱和羧基单体聚合而得，所述乙烯类单体选自羟烷基丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯、丙烯酸酯、丙烯酸正丁酯、苯乙烯和烷基取代的苯乙烯中的一种或几种，所述α,β-乙烯类不饱和羧基单体选自苯丙烯酸、丁烯酸、富马酸、山梨酸、丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、丙炔酸、马来酸及它们的酸酐中的一种或几种。

4.根据权利要求1或2所述的含有纤维素材料的干膜光阻剂，其特征在于，所述自由基引发剂选自二苯甲酮、二甲氧基苯基苯乙酮、中的一种或几种。

5.根据权利要求1或2所述的含有纤维素材料的干膜光阻剂，其特征在于，所述光聚合单体选自三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二缩三羟甲基丙烷四丙烯酸酯、六官能度聚酯丙烯酸酯、四官能度聚酯丙烯酸酯、三乙二醇二丙烯酸酯中的一种或几种。

6.根据权利要求1或2所述的含有纤维素材料的干膜光阻剂，其特征在于，所述热聚合抑制剂选自p-甲氧基苯酚、氢苯醌、烷基和芳香基取代的氢苯醌和苯醌类、特丁基邻苯二酚、邻苯三酚、铜树脂酸盐、β-萘酚、2，6-二叔丁基-4-甲基苯酚、2，2’-亚甲基-二(4-乙基-6-特丁基苯酚)、p-甲苯苯醌、四氯苯醌、芳基亚磷酸盐和烷基芳基亚磷酸盐中的一种或几种。

7.根据权利要求1或2所述的含有纤维素材料的干膜光阻剂，其特征在于，所述增塑剂选自N-乙基甲苯磺酰胺、柠檬酸三正丁酯、三乙酸甘油酯，邻苯二甲酸二乙酯、葵二酸二甲酯、磷酸甲苯、乙酰柠檬酸三正丁酯，由聚酯二醇嵌段和聚二醇/环氧乙烷反应组成的端基二异氰酸酯嵌段共聚物，羟基取代的丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯中的一种或几种。

8.根据权利要求1或2所述的含有纤维素材料的干膜光阻剂，其特征在于，所述纤维素材料选自羟丙基纤维素、乙基羟乙基纤维素、乙基纤维素中的一种或几种。

9.根据权利要求1或2所述的含有纤维素材料的干膜光阻剂，其特征在于，所述纤维素材料的分子量为60-100kD。