[发明专利]柔性显示面板的制造方法及柔性显示面板在审
申请号: | 201711311489.4 | 申请日: | 2017-12-11 |
公开(公告)号: | CN108054131A | 公开(公告)日: | 2018-05-18 |
发明(设计)人: | 李胜坤 | 申请(专利权)人: | 昆山维信诺科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/70 | 分类号: | H01L21/70;H01L21/762;H01L27/32 |
代理公司: | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人: | 许志勇 |
地址: | 215300 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性 显示 面板 制造 方法 | ||
1.一种柔性显示面板的制造方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:
在基板上形成阳极层,所述阳极层包括若干个相互平行的阳极条;
在所述阳极层上形成有机材料层;
在所述有机材料层上形成阴极层,并加工处理所述阴极层形成若干隔离槽,以及若干由所述隔离槽分隔的阴极条;
其中,所述隔离槽与所述阳极条的水平投影相交。
2.根据权利要求1所述的柔性显示面板的制造方法,其特征在于,所述隔离槽与所述阳极条的水平投影垂直。
3.根据权利要求1所述的柔性显示面板的制造方法,其特征在于,加工处理所述阴极层的步骤包括:干法刻蚀所述阴极层以形成所述隔离槽与阴极条。
4.根据权利要求1所述的柔性显示面板的制造方法,其特征在于,所述隔离槽的宽度为7微米至15微米。
5.根据权利要求1所述的柔性显示面板的制造方法,其特征在于,所述阴极层的厚度为150纳米至200纳米,所述隔离槽贯穿所述阴极层。
6.根据权利要求1所述的柔性显示面板的制造方法,其特征在于,所述阴极层为铝层、银层或镁银合金层。
7.一种柔性显示面板,其特征在于,所述柔性显示面板包括:
基板;
阳极层,包括若干个形成在所述基板上且相互平行的阳极条;
有机材料层,所述有机材料层形成在所述阳极层上;
阴极层,包括若干个形成在有机材料层上且相互平行的阴极条,以及若干个隔离相邻两个阴极条的隔离槽;
其中,所述隔离槽与所述阳极条的水平投影相交。
8.根据权利要求7所述的柔性显示面板,其特征在于,所述隔离槽与所述阳极条的水平投影垂直。
9.根据权利要求7所述的柔性显示面板,其特征在于,所述隔离槽的宽度为7微米至15微米。
10.根据权利要求7所述的柔性显示面板,其特征在于,所述阴极层的厚度为150纳米至200纳米,所述隔离槽贯穿所述阴极层。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造