[发明专利]量子点薄膜的制备方法、电致发光器件及其制备方法有效
申请号: | 201711319566.0 | 申请日: | 2017-12-12 |
公开(公告)号: | CN108054285B | 公开(公告)日: | 2020-06-05 |
发明(设计)人: | 查宝;于晓平 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L51/50 | 分类号: | H01L51/50;H01L51/56 |
代理公司: | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人: | 孙伟峰;阳志全 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 量子 薄膜 制备 方法 电致发光 器件 及其 | ||
1.一种量子点薄膜的制备方法,其特征在于,包括:
将量子点均匀分散于有机溶剂内,形成量子点溶液;
将量子点溶液转移至有机溶剂与水的混合体系中,形成量子点胶体溶液;其中,形成所述量子点溶液的有机溶剂与形成所述量子点胶体溶液的有机溶剂为相同的有机溶剂,所述有机溶剂选自正己烷、乙醇、乙酸乙酯、环己烷、氯仿、丙酮、四氢呋喃、甲醇、乙腈、异丙醇和丙腈中的一种;
提供一具有图案的衬底,并将量子点胶体溶液涂布在所述衬底上;
提供一基板,并将涂布有量子点胶体溶液的所述衬底转移至所述基板上;
对所述基板加热,有机溶剂在与空气接触的界面进行挥发,引导量子点胶体溶液朝远离所述基板的方向移动,使量子点在衬底、量子点胶体溶液、空气的界面间的毛细力和球状量子点之间的排斥力的作用下,在所述衬底表面沿着界面自组装成多层形成有序的层叠的量子点层状结构;
移除所述基板,得到量子点薄膜。
2.根据权利要求1所述的量子点薄膜的制备方法,其特征在于,所述将量子点溶液转移至有机溶剂与水的混合体系中前,还包括对量子点与有机溶剂内的混合物进行过滤,得到粒径相对均匀的量子点溶液。
3.根据权利要求1所述的量子点薄膜的制备方法,其特征在于,所述将量子点溶液转移至有机溶剂与水的混合体系中后,还包括对混合体系与量子点溶液的混合溶液进行搅拌。
4.根据权利要求1所述的量子点薄膜的制备方法,其特征在于,所述对所述基板加热过程中,还实时调节所述基板的加热温度以控制所述量子点层状结构的厚度。
5.根据权利要求1-4任一所述的量子点薄膜的制备方法,其特征在于,所述量子点选自如下材料中的一种:ZnS、ZnSe、HgS、HgSe、HgTe、AlN、AlP、ZnTe、CdS、CdSe、CdTe、MnSe、InAs、InSb、TlN、TlP、TlAs。
6.根据权利要求1-4任一所述的量子点薄膜的制备方法,其特征在于,所述量子点选自如下材料中的一种:CdxZn1-xSe、CdxZn1-xS、CuInS2、CuInSe2、AgInS2、AgInSe2、InxGa1-xP,其中,0<x<1。
7.根据权利要求1-4任一所述的量子点薄膜的制备方法,其特征在于,所述量子点选自如下材料中的一种:CuInSeS、InP/ZnS、ZnxCd1-xSe/ZnS、CdxZn1-xSySe1-y,其中,0<x<1,0<y<1。
8.一种电致发光器件,其特征在于,包括:使用权利要求1-7任一所述的量子点薄膜的制备方法制备的量子点薄膜、设于所述量子点薄膜一侧的电子传输层(21)和阴极(30)、设于所述量子点薄膜另一侧的空穴传输层(41)、阳极(50)和基板(60)。
9.一种权利要求8所述的电致发光器件的制备方法,其特征在于,包括:
提供一基板(60),在所述基板(60)表面沉积形成阳极(50);
在所述阳极(50)上制作空穴传输层(41);
采用接触印刷的方式,将量子点薄膜(10)转移到空穴传输层(41)上;
在量子点薄膜(10)上制作电子传输层(21);
在电子传输层(21)上方制作阴极(30)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择