[发明专利]擦拭机构及基板清洗装置

权利要求书

1.一种擦拭机构，用于擦拭传输中的基板(P)，其特征在于，包括分别可往复移动地擦拭基板(P)的上下两侧的上擦拭件(11)和下擦拭件(12)，所述上擦拭件(11)和所述下擦拭件(12)的移动方向平行于基板(P)所在的承载面，并垂直于基板(P)的传输方向，且所述上擦拭件(11)与所述下擦拭件(12)的移动方向始终相反；所述上擦拭件(11)与所述下擦拭件(12)均包括远离基板(P)的背板(a)和固定在所述背板(a)内表面、用于接触背板(a)的擦拭部(b)；还包括分别设于基板(P)的传输方向两侧的左支架(13)、右支架(14)，所述上擦拭件(11)的所述背板(a)两端均连接有第一连接轴(110)，所述下擦拭件(12)的所述背板(a)两端均连接有第二连接轴(120)，所述上擦拭件(11)两端的所述第一连接轴(110)、所述下擦拭件(12)两端的所述第二连接轴(120)均分别插设在所述左支架(13)和所述右支架(14)内并由所述左支架(13)和所述右支架(14)支撑；还包括固定在所述右支架(14)一侧的固定座(16)和中部可转动地连接在所述固定座(16)上的联动杆(17)，所述联动杆(17)的两端分别与临近的所述第一连接轴(110)和所述第二连接轴(120)铰接。

2.根据权利要求1所述的擦拭机构，其特征在于，所述擦拭部(b)为刷毛。

3.根据权利要求1所述的擦拭机构，其特征在于，还包括每个所述第一连接轴(110)、每个所述第二连接轴(120)表面分别套设的一个轴套(15)，所述轴套(15)嵌设并固定在相应的所述左支架(13)或所述右支架(14)内。

4.根据权利要求1所述的擦拭机构，其特征在于，还包括连接在其中一个所述第一连接轴(110)端部的滑动座(18)、嵌设于所述滑动座(18)内的凸轮转子(19)和驱动所述凸轮转子(19)转动的马达(M)，所述滑动座(18)上开设有深度方向垂直于所述第一连接轴(110)的凹槽(180)，所述马达(M)驱动所述凸轮转子(19)在所述凹槽(180)内转动而驱动所述滑动座(18)沿所述第一连接轴(110)的轴向往复移动。

5.根据权利要求4所述的擦拭机构，其特征在于，还包括连杆(20)和联轴件(21)，所述连杆(20)一端连接所述滑动座(18)，另一端通过所述联轴件(21)与所述第一连接轴(110)连接。

6.根据权利要求5所述的擦拭机构，其特征在于，还包括辅助支架(22)，所述连杆(20)穿设在所述辅助支架(22)内并由所述辅助支架(22)支撑。

7.一种基板清洗装置，其特征在于，包括基板传送机构(1)、喷淋机构(2)以及权利要求1-6任一所述的擦拭机构，所述基板传送机构(1)用于承载并传输基板(P)，所述喷淋机构(2)设于所述基板传送机构(1)上方，用于在基板(P)经过擦拭机构前朝基板(P)喷洒清洗液。