[发明专利]蒸镀方法以及蒸镀装置有效
| 申请号： | 201711338456.9 | 申请日： | 2017-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN109957762B | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 万冀豫;汪栋;宋勇志;姜晶晶;齐鹏煜 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 王辉;阚梓瑄 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 方法 以及 装置 | ||
1.一种蒸镀方法，其特征在于，包括：
给靶材施加激励声波，使靶材的设定部位的粒子的能量高于所述粒子脱离所述靶材需要的能量而脱离所述靶材附着于基板的设定区域，所述激励声波为矩形波。
2.根据权利要求1所述的蒸镀方法，其特征在于，所述激励声波为矩形驻波。
3.根据权利要求2所述的蒸镀方法，其特征在于，所述矩形驻波由多列正弦波或多列余弦波合成。
4.根据权利要求3所述的蒸镀方法，其特征在于，所述矩形驻波的合成包括：
将所述靶材按照所述基板的蒸镀要求划分为多个周期单元，所述矩形驻波的函数表示为：
式中，a0为所述矩形驻波的振幅，an为所述正弦波或余弦波的振幅，n为所述正弦波或余弦波的列数，L为所述周期单元的宽度。
5.根据权利要求3所述的蒸镀方法，其特征在于，所述正弦波以及所述余弦波的波长值在超声波的波长值范围内。
6.根据权利要求1～5任意一项所述的蒸镀方法，其特征在于，在给所述靶材施加激励声波之前，所述蒸镀方法还包括：
给所述靶材加热，使所述靶材的能量低于所述粒子脱离所述靶材需要的能量。
7.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：
激励声波发生器，用于给靶材施加激励声波以使靶材的设定部位的粒子的能量高于所述粒子脱离所述靶材需要的能量而脱离所述靶材附着于基板的设定区域，所述激励声波为矩形波。
8.根据权利要求7所述的蒸镀装置，其特征在于，所述激励声波为矩形驻波。
9.根据权利要求8所述的蒸镀装置，其特征在于，所述矩形驻波由多列正弦波或多列余弦波合成。
10.根据权利要求9所述的蒸镀装置，其特征在于，所述矩形驻波的合成包括：
将所述靶材按照所述基板的蒸镀要求划分为多个周期单元，所述矩形驻波的函数表示为：
式中，a0为所述矩形驻波的振幅，an为所述正弦波或余弦波的振幅，n为所述正弦波或余弦波的列数，L为所述周期单元的宽度。
11.根据权利要求9所述的蒸镀装置，其特征在于，所述正弦波以及所述余弦波的波长值在超声波的波长值范围内。
12.根据权利要求7～11任意一项所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置还包括：
加热器，用于在给所述靶材施加激励声波之前给所述靶材加热，使所述靶材的能量低于所述粒子脱离所述靶材需要的能量。
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