[发明专利]蒸镀方法以及蒸镀装置

说明书

本公开涉及蒸镀技术领域，公开了一种蒸镀方法，该蒸镀方法包括：给靶材施加激励声波，使靶材的设定部位的粒子的能量高于所述粒子脱离所述靶材需要的能量而脱离所述靶材附着于基板的设定区域。使用该蒸镀方法避免蒸镀材料的损失，提高蒸镀材料的利用率，从而降低成本。

技术领域

本公开涉及蒸镀技术领域，具体而言，涉及一种蒸镀方法以及蒸镀装置。

背景技术

随着显示技术的飞速发展，OLED已经成为现代显示技术的新宠。在制造OLED(Organic Light Emitting Diode，有机发光二极管)时，使用坩埚将用于制作OLED的有机材料蒸镀到OLED基板上。其中，在OLED基板上还覆盖有掩模板，使有机材料蒸镀到OLED基板上形成设定的图案；坩埚和OLED基板均置于真空的蒸镀腔室内，且OLED基板通过蒸镀载板固定于坩埚的上方。

目前，蒸镀工艺采用直接加热的方式进行。加热使有机材料粒子脱离靶材，有机材料粒子在靶材表面随机出射，有机材料粒子会附着在温度较低的坩埚内侧壁和掩模板上。据统计仅有大约10％的有机材料粒子能够到达基板的要求蒸镀的位置，那么就有大约90％的有机材料损失，使得有机材料的利用率较低，造成有机材料的成本较高；而且坩埚内侧壁和掩模板还需要定期清理，在清理时坩埚和掩模板均无法使用，不仅影响生产效率，而且浪费人力物力，还会造成环境污染。再者，每一种产品均需要设置并生产与其相对应的掩模板。

因此，有必要研究一种新的蒸镀方法以及蒸镀装置。

需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

发明内容

本公开的目的在于提供一种蒸镀方法以及蒸镀装置，进而至少在一定程度上克服由于相关技术的限制和缺陷而导致的一个或者多个问题。

根据本公开的一个方面，提供一种蒸镀方法，包括：

给靶材施加激励声波，使靶材的设定部位的粒子的能量高于所述粒子脱离所述靶材需要的能量而脱离所述靶材附着于基板的设定区域。

在本公开的一种示例性实施例中，所述激励声波为矩形驻波。

在本公开的一种示例性实施例中，所述矩形驻波由多列正弦波或多列余弦波合成。

在本公开的一种示例性实施例中，所述矩形驻波的合成包括：

将所述靶材按照所述基板的蒸镀要求划分为多个周期单元，所述矩形驻波的函数表示为：

式中，a₀为所述矩形驻波的振幅，a_n为所述正弦波或余弦波的振幅，n为所述正弦波或余弦波的列数，L为所述周期单元的宽度。

在本公开的一种示例性实施例中，所述正弦波以及所述余弦波的波长值在超声波的波长值范围内。

在本公开的一种示例性实施例中，在给所述靶材施加激励声波之前，所述蒸镀方法还包括：

给所述靶材加热，使所述靶材的能量低于所述粒子脱离所述靶材需要的能量。

根据本公开的一个方面，提供一种蒸镀装置，包括：

激励声波发生器，用于给靶材施加激励声波以使靶材的设定部位的粒子的能量高于所述粒子脱离所述靶材需要的能量而脱离所述靶材附着于基板的设定区域。

在本公开的一种示例性实施例中，所述激励声波为矩形驻波。

在本公开的一种示例性实施例中，所述矩形驻波由多列正弦波或多列余弦波合成。

在本公开的一种示例性实施例中，所述矩形驻波的合成包括：